中古 NIKON NSR 1755 G7A #9159079 を販売中

ニコンNSR 1755 G7Aは、高度なリソグラフィープロセス用に設計された高精度ウェーハステッパーです。全自動、シングルレンズ、スキャナー型の投影装置で、手動のアライメントを必要とせずに素早くステップ&リピートが可能です。このシステムは、費用対効果の高いリソグラフィのために0.75-NAの深紫外線照明源を利用し、高度な65ナノメートル（nm）の生産を目指しています。NIKON NSR-1755G7A投影ユニットは、光学、カメラ、照明源の3つの主要コンポーネントから構成されています。光学機器には、投影レンズとイメージングレンズの2つのレンズが組み込まれており、画像の正確かつ正確な集中を可能にし、チップをイメージするためにディープウルトラバイオレット（DUV）照明を使用しています。カメラは4インチのレチクル画像面に画像を投影し、従来の4インチのマスクレチクルを使用することができます。NSR-1755 G7Aウェーハステッパーの照明ツールは、可変数値開口部（V-NA）ユニットで、コンピュータの開口部の制御により、広い被写界深度と広い視野を可能にします。照明源は、4インチのレチクルに微細な回路ディテールを投影することを容易にするように設計された2アンプのソースおよびリング型アセットです。また、真空タイトステージ構造を備えており、外部ベンティングパイプの必要性を排除します。NSR 1755 G7Aウェーハステッパーは、3次元オートフォーカス制御技術を使用して、ウェーハ上のデータを層ごとに正確に登録します。高精度・高速応答ステージを備え、露出領域におけるウェーハの迅速かつ正確な位置決めを可能にします。このモデルには、レティクルの手動配置の必要性を排除するアライメントミラーも内蔵されています。最後に、装置には高精度のカメラ追跡システムがあり、ウェーハ露出データの迅速かつ正確な登録を提供します。全体として、NSR-1755G7Aは高度で効率的なウェーハステッパーであり、幅広い機能を備えており、高度な65nmリソグラフィ装置の高速で正確で信頼性の高い生産を可能にします。LEDや半導体の製造に適しているほか、精密かつ正確なリソグラフィープロセスを必要とする製品にも適しています。