中古 NIKON NSR 1755 G7A #293639074 を販売中

NIKON NSR 1755 G7A Wafer Stepperは、シリコンなどの半導体ウェハ上に集積回路構造を作成するプロセスを容易にするために設計された特殊な機械です。このプログレードマシンには4クアドラントジオメトリレチクル装置が装備されており、微細なリソグラフィーパターンを正確かつ正確に調整できます。ウェーハステッパーは、0.02µmの最大電動ステージ分解能を持ち、直径50mmから200mmまでのウェーハに対応できます。+/-15度の傾斜角度をサポートするNIKON NSR-1755G7Aとのアライメントが困難な角度に到達することが可能です。このNIKONデバイスは、複数のアークランプ照明ソースおよび高度な光学システムと互換性があります。また、収差補正に高度な要素を活用し、高精度な位置決めとモータ制御を実現しています。NSR-1755 G7Aには、これらの複雑な操作を制御するためのさまざまなアルゴリズムがあり、振動や空気圧の変動によって引き起こされる可能性のあるエラーを補償します。このシステムは、直感的なMFPME （Multi Function Pattern Matching Examination）ソフトウェアによって支援され、プロセスのさらなる精度と安定性を提供します。さらに、高度なFPDM （Fine Pattern Defect Monitor）ユニットを搭載しており、ウエハをスキャンする際の細かい欠陥を高次元で検出することができます。NSR-1755G7Aはまた、いくつかのパターン前処理オプションをユーザーに提供するユニークな「PPP」マシンを備えています。これには、パターン管理、オーバーラップ補償など、複数のパターン操作機能が含まれます。全体的に、NIKON NSR-1755 G7Aは、優れたスキャン性能を提供する正確かつ正確なウェーハステッパーです。直径200mmまでのウェーハでは、アライメントの角度が難しい場合でも変形や誤差が最小限に抑えられ、優れた結果が期待できます。また、高度な光学システムと信頼性の高いアルゴリズムと統合されており、正確な欠陥検出と正確なパターン前処理を可能にします。この機械は最低の欠陥および間違いの良質および精密な回路パターンを、作り出すために完全です。