中古 NIKON NSR 1755 G7 #293609514 を販売中
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NIKON NSR 1755 G7は、半導体業界で広く使用されているハイエンドウェーハステッパーです。これは、集積回路チップを作成するために使用されるシリコンウェーハ上の特徴をパターン化するために使用される、リソグラフィー印刷のための機器の重要な部分です。NSR 1755 G7は、効果的なオーバーレイ制御のためのワンショットレーザーアライメント装置(LAS)と、露出均一性を向上させるためのビーム径7mmを備えています。ドライスキャナと高エネルギーエキシマレーザーソースで使用するために設計されており、露出パラメータを最適化するために高度なLCDモニターレポートシステムと自動露出ユニット(AES)が装備されています。NIKON NSR 1755 G7には、温度安定性を維持するためのウェーハ温度コントローラと、より良い解像度を得るためのハイエンドスキャンオプティクスも含まれています。NSR 1755 G7は、標準構成で最大8インチ(200mm)のウェーハサイズ容量を持ち、オプションのワークステージ構成で最大12インチ(300mm)までサポートできます。また、5。5um/sまで調整可能な可変速度スキャン機構を備えており、信頼性と高品質の印刷結果を保証します。さらに、0。2umの精度で機械的なアライメントを提供し、0。1um。 as-printedアライメントを提供します。NIKON NSR 1755 G7は、高性能CE (Controlled Exposure)装置を搭載し、同時に露出パラメータを監視および調整し、非常に信頼性の高い動作を実現しています。また、高度な冷暖房(CAH)ツールを備えており、汚れた湿気の多い環境でも優れた安定性を保証します。全体として、NSR 1755 G7は半導体業界での使用に最適な高度なウェーハステッパーです。非常に洗練されたワンショットレーザーアライメント、優れた露出均一性、優れた安定性、0。1umの精度で機械的および印刷済みのアライメント、および信頼性の高い印刷結果を保証する可変スピードスキャンメカニズムを提供します。
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