中古 NIKON NSR 1505 i7B #293748560 を販売中

ニコンNSR 1505 i7Bウェーハステッパーは、精密エッチング、露出、イメージング、およびその他の重要なリソグラフィ工程用に設計された半自動リソグラフィ装置です。その汎用性と堅牢な設計は、半導体、フォトマスク、およびマイクロ流体デバイス製造アプリケーションに最適です。このシステムは、高精度パターニングとイメージング機能を豊富に備えています。このユニットは、最大6x6インチ（接触）のウェハサイズをスキャンできる大規模なV-Toneスキャナを使用しています。このスキャナは、半自動および自動操作モードを含むさまざまな方向にステッピングヘッドを移動する柔軟性を提供します。より大きなフォーマットは、ダイサイズバリエーションを低減し、パターニング時の精度を向上させることもできます。最適な低収差イメージングと不要な干渉を低減するための高度な蛍光レンズも含まれています。NSR 1505 i7Bウェーハステッパーは、高解像度パターニングに優れた機能を提供します。スケーラブルなリソグラフィ機能には、パターン生成、ダイサイズ最適化、パターンアライメントと配置、サブサンプリングなどがあります。このマシンは、プロセスレシピの最適化と自動パターン学習プロファイルの選択を改善するためのサポートベクトルマシン（SVM）アルゴリズムも備えています。このツールは、多露光画像、ダイレクトイメージング、エッジ露光イメージング、サブハーフミクロン解像度イメージング、フレキシブル露光線量制御などの包括的なリソグラフィ技術をサポートしています。NIKON NSR 1505 i7Bは、Photoresist DevelopersやPhotoactive Senstizersなどの幅広い化学製品にも対応しています。このアセットにはオートマスキング機能が含まれており、パターンファイルを必要とせずに素早くパターンを生成できます。NSR 1505 i7Bウェーハステッパーは、完全に自動化された6軸電動ステージとIn-Situエンドポイント制御モデルを備えています。高再現性を実現し、幅広い基板・材料に対して優れた分解能と粒子汚染低減を実現します。このシステムはまた、スライダー、ボタン、スクローラーの包括的なセットを備えており、ユーザーはすべてのリソグラフィーパラメータに簡単にアクセスできます。このユニットは、最新のNIKON Process TCAMソフトウェアパッケージを搭載しています。これにより、製造プロセス全体で優れたプリント、精度、精度を保証します。ソフトウェアパッケージは、グラフィカルツールバーとカスタムショートカットキーを使用して、簡単で直感的な操作を可能にします。また、事前に定義されたレシピとパターンジェネレータのライブラリ、徹底的なリソグラフィと測定手順の表示、最新のパラメータとプロセス設定への迅速なアクセスを提供します。全体として、NIKON NSR 1505 i7B Wafer Stepperは、半導体、フォトマスク、およびマイクロ流体デバイス製造の高精度エッチング、イメージング、パターニング用に設計された、高度でユーザーフレンドリーなリソグラフィ装置です。その強力な機能、拡張性、自動化された機能により、幅広いアプリケーションで優れたパフォーマンスとコスト効率を実現します。