中古 NIKON NSR 1505 i7A #9304008 を販売中

ID: 9304008
Stepper, 6" 1990 vintage.
NIKON NSR 1505 i7Aは、マイクロリソグラフィ用途に使用される汎用性の高い高精度ウェーハステッパーです。この最先端のウェーハステッパーアライナーは、NIKONの実績あるスキャニング数値制御(SNC)技術をベースに、最高精度の高精度アライメントが可能な7軸装置を採用しています。この機械は、ほんの数分の1の範囲で小さな領域を調整することができ、業界で利用可能な最高レベルの精度とアライメントを提供します。NIKON NSR-1505I7Aは10。4 インチLCDとリモートインターフェースを備えており、露出やアライメントなどのさまざまな機能を制御することができます。ウェーハステッパーは、露出能力が高いため、エラーを最小限に抑えた複数の種類の画像を処理することができます。統合されたスキャンモータ、高速ウェーハ移動システム、およびアライメントプラットフォームはすべて、処理中にウェーハ全体を正確にアライメントするように設計されています。NSR 1505 I7Aウェーハステッパーには、さまざまな機能とオプションが装備されています。オプションのウェーハチャッキングユニットを搭載し、最大8つのウェーハを同時に配置できます。また、オプションの高精度オートフォーカスセンサを使用することで、ナノメートル単位でウェーハの露出高さを測定および自動調整することができます。さらに、露光タイミングと感光材料特性の正確な統合を保証するオプションの多相同期マシンで構成することができます。NIKON NSR 1505 I7Aは、独自のリアルタイム真空測定および制御ツールを備えており、処理中に高い真空精度を維持することができます。このマシンには自動温度制御アセットも装備されており、露出プロセス全体でウェーハが正確に制御された温度に保たれるようにします。全体として、NIKON NSR 1505 I 7 Aは、極めて精度と精度を必要とするマイクロリソグラフィー用途向けに設計された高度なウェハステッパーです。自動化された温度制御、多相同期モデル、オプションのオートフォーカスセンサー、調整可能な真空機器など、最も先進的な機能を提供します。信頼でき、耐久の構造は一貫した操作および長期性能を保障するのを助けます。
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