中古 NIKON NSR 1505 i7A #9299960 を販売中

ニコンNSR 1505 i7Aウェハステッパーは、半導体デバイスの量産用に設計された高度な高精度リソグラフィ装置です。NIKON NSR-1505I7Aは、比類のない性能を提供し、フォトマスクなどの中低量成膜に最適です。ウェーハ、マスク、プレート、基板を同時に交換できる、全自動の高速チェンジャーローダー/アンローダーを備えています。NSR 1505 I7Aには、NIKON最先端のCCDワイドフィールドイメージングシステムと、ウェーハとフォトマスクの精密な光学アライメントのための高度な光学系が搭載されています。このイメージングシステムは、高解像度のイメージングを可能にし、非常に小さなデバイスのフィーチャーサイズを卓越した精度で解決することができます。CCDイメージングシステムは、2組のレンズと、リソグラフィ用に最適化された高解像度CCDカメラで構成されています。CCDカメラは、すべての標準的なフォトマスクとウェーハサイズをサポートするために256mm x 256mmの最大画像領域を持っています。ウェハマッピング、エッジ検出、およびカメラを使用したアライメントは、マスクとウェハの正確なアライメントを提供します。このユニットはまた、レジスト除去時間を短縮し、レジスト消費を最小限に抑えるように設計された高性能チャンバーワン回収機を備えています。高真空チャンバー、1段トランスファーツール、高圧二酸化炭素ジェットアセットを備えており、効果的なレジスト除去が可能です。また、ウエハ表面全体に優れた均一性と高精度なレジスト露出を実現する高精度露光装置を搭載しています。NIKON NSR 1505 I 7 Aはまた、ウェーハやフォトマスクの滑らかで正確な配置と移動をサポートする高精度ステージングシステムを備えています。このユニットには、高速シェーカーと高解像度アクチュエータが搭載されており、ウェーハや写真の配置を正確に調整できます。ステージングマシンにはスケーラブルなウェーハトラッキングツールが装備されており、複数のウェーハをサポートするように調整することができます。NSR 1505 I 7 Aには、欠陥を検出し、正確なアライメントと画像補正を行うことができる特殊な検査およびアライメントアセットも装備されています。2ミクロン以下の粒子を検出することができ、高速かつ正確なアライメントを実現するNIKONマルチステップパターン認識装置を搭載しています。また、蒸着後のウェーハのアライメントや露出処理もサポートし、プロセスの最高品質を保証します。NIKON NSR 1505 I7Aは、中量から低容量のリソグラフィ作業に最適な、高度で高精度なウェーハステッパーです。フォトマスクやウエハーの生産において優れた精度と均一性を提供し、全自動の交換ユニットと高性能レジスト検索および検査システムにより、効率的かつ一貫して高品質な結果を得ることができます。