中古 NIKON NSR 1505 i7A #9226273 を販売中

NIKON NSR 1505 i7Aは、高解像度リソグラフィ用に最適化された完全自動ウェーハステッパーです。このステッパーは、優れた性能を備えた洗練されたデザインを持っています。NIKON NSR-1505I7Aはワークスペース面積が広く、最大7インチのウェーハを処理できます。統合されたイメージング技術と最先端の光学技術により、このステッパーは高場平坦性で高精度で一貫したパターンを生成することができます。サブミクロンパターン精度が可能で、0.25µm分解能を低く実現できます。また、フィールドフォーカス範囲の深さが大きいため、5µmのような特徴を生み出すことができます。また、レンズアライメントのための高度なキャリブレーションルーチンを備えており、露光サイクルごとに最適な解像度と画像位置を設定できます。NSR 1505 I7Aは、ウェーハのX、 Y、 Z軸を制御するためのコンピュータ制御ステージと、ウェーハの向きを調整するための高精度の回転ステージを備えています。この精密ステージは350mmのストローク距離を持ち、最大スキャン速度は350mm/sです。さらに、このステッパーには、露出中にウェーハを固定するための精密な真空チャックが含まれています。NSR-1505I7Aは、セットアップとサイクル時間を短縮するためのオンボード処理インフラストラクチャも備えています。2段式スピンコーターとベーキングプロセスを備えた自動ウェーハハンドリングシステムと、スループットを向上させる自動材料搬送システムを備えています。その柔軟性と精度に加えて、NSR 1505 I 7 Aも環境に優しいステッパーです。低消費電力、低熱生産が可能で、ラボやクリーンルーム環境での使用を容易にするため、ほぼ静粛で動作できます。NIKON NSR 1505 I7Aは、高度な技術により、信頼性の高い効率的なリソグラフィ方法を提供します。