中古 NIKON NSR 1505 i7A #9226271 を販売中

NIKON NSR 1505 i7Aは、高精度・高精度が求められる半導体製造の先進的なウェハステッパーです。独自のダイナミックスキャン装置（DSS）とi-line光学パターンジェネレータを備えており、高速で正確なウェーハパターニングが可能です。NIKON NSR-1505I7Aには高解像度の陰極線管（CRT）を搭載し、高感度画像出力を実現しています。高解像度ステッピングレンズアセンブリと2。4倍減少レンズは、精度と歩留まりを向上させながら、アベレーションエラーを低減します。NSR 1505 I7Aは高速デジタルイメージングコントローラによって制御され、これまで以上に高い精度と速度を実現します。NSR 1505 I 7 Aは、2インチ、4インチ、6インチ、8インチのウェーハから、基板のローディングとアンロードのためのフルオートハンドリングまで、幅広いウェーハを扱うように設計されています。これは、i-Line、 G-Line、 I-Plus波長を使用してステッパー露出が可能で、4-6秒露光で8〜10 mJ/cm2の露出レベルを生成することができます。ハンドチルトウェーハステージにより、薄いチップやスルーシリコン（TSV）などの独自のウェーハ要件に合わせて簡単にダイのアライメントと補正が可能です。NSR-1505I7Aはスキャン速度を最適化し、最大30mm/秒のスキャン速度に達する能力を備えています。これにより、大量生産に不可欠なスループットが向上します。また、追加機器の需要も減少します。さらに、NIKON NSR 1505 I7Aは、システム全体を継続的に監視するための包括的な自己診断およびウェーハトラッキング機能を備えています。これは、生産プロセスにおける高いレベルのユニット性能と継続性を確保するのに役立ちます。NIKON NSR 1505 I 7 Aは、すべての機械機能に簡単にアクセスできる革新的なユーザーインターフェースを備えています。NSR 1505 i7Aは全体的に、高性能な機能を備えた先進的なウェーハステッパーであり、高度な半導体製造に最適なソリューションです。そのスピード、精度、汎用性は、信頼性の高い高品質のウェーハを生産するための重要な利点です。直感的なユーザーインターフェイスと包括的な診断により、高いレベルのツールパフォーマンスを保証します。