中古 NIKON NSR 1505 i7A #9226270 を販売中

NIKON NSR 1505 i7Aは、さまざまなマイクロデバイスの製造においてフォトマスクをパターン化するための高精度で費用対効果の高いソリューションを可能にする高度なウェーハステッパーです。この機械は、190 nmのライン/スペースのデバイスの生産と検査を可能にするように設計されています。OpenValuePhotomask （OVP）ソフトウェアと互換性のある統合機器を提供し、効率的なセットアップ手順で使いやすい自動プラットフォームを提供します。NIKON NSR-1505I7Aは、高解像度プロジェクションレンズを使用してマスクやウェーハに画像を集中させる5軸パラレルビーム照明マスクスキャンシステムです。X軸とY軸の方向で40mmのフィールドサイズを提供し、サブ100nmパターニングに使用できます。ボンディングオプションにより、マスクの生産コストを削減し、より大量生産に最適な選択肢となります。NSR 1505 I7Aは両面露出を可能にし、両面に独立した露出ヘッドを備えています。調節可能な熱制御ユニットは、より良いプロセス制御のための正確なプロセス温度を保証します。内蔵のアライメントマシンにより、正確なオーバーレイ解析が可能で、ウェーハ上に異なるパターンを正確に配置できます。また、自動マスク搬送やウェーハ搬送などの機能や、ウェーハセンタリングを正確かつ高速に行うための自動ウェーハチャック位置決め機構も備えています。また、NIKON NSR 1505 I7Aは、70nm程度のマスク特性を識別できる高分解能測定機能を備えています。このi7Aには、マスクとウェーハの正確なアライメントとウェーハ間の均一性の向上を可能にする3次元オートフォーカスツールが装備されています。最終的に、NSR-1505I7Aは優れた結果をもたらすコスト効率の高い生産プロセスを提供するように設計された強力で正確でスケーラブルなウェーハステッパーです。高度なオートメーション機能と高性能な光学アセットを活用し、高度なマスク加工と検査に最適なソリューションです。