中古 NIKON NSR 1505 i7A #9226269 を販売中

ニコンNSR 1505 i7Aウェーハステッパーは、幅広い微細加工プロセスに適したニコン株式会社の高性能リソグラフィーツールです。NIKON NSR-1505I7Aは、NIKON NSRシリーズのリソグラフィーツールのレガシーをベースに、基板全体のパターン転送に優れた精度を提供します。ステッパーには2つの独立した露出チャンバーが装備されており、これらはそれぞれ8インチウェーハの処理に使用できます。これにより、正確な制御と最高の生産性を必要とするアプリケーションに理想的な選択肢となります。各種チップやウェーハパターンの製造に使用でき、フレキシブルな照明システムによりパターンの再現性とステップアンドスキャン操作が可能です。NSR 1505 I7Aは、ウェーハ処理機能に加えて、優れた制御および検出機能も提供します。高度なアライメントユニットには、アクティブターゲットディテクタとリファレンスターゲットディテクタの両方を使用して、パターン転送精度を最大限に高めることができます。また、基板が最適な焦点範囲にとどまるように正確な焦点検出機を提供します。一体型の絞りツールにより、露出フィールドサイズと形状を微調整できます。NSR 1505 i7Aは特徴サイズ0。3ミクロンまでのパターンを作り出すことができ、1ミクロンのラインおよびスペースが付いている区域で0。1ミクロンの全体的なパターン正確さがあります。さらに高い精度とスループットを得るために、アセットにはオーバーレイ解析アルゴリズムが組み込まれています。この機能により、パターン転送プロセスの品質を迅速に評価および調整でき、生産サイクルにおける時間とリソースを節約できます。安全面では、ステッパーはOHSAS 18001およびISO14001規格に従って設計されています。高効率冷却モデルにより、露出した部品を高いプロセス温度から保護します。また、ユーザーの最大の安全性を確保するために、緊急停止ボタンが内蔵されています。結論として、NSR 1505 I 7 Aウェーハステッパーは、さまざまな微細加工プロセスに適した高性能リソグラフィーツールです。正確な制御、精度、速度を提供し、さまざまな生産およびエンジニアリングアプリケーションに最適です。それは高いレベルの安全および保護を提供し、あらゆる生産環境のための適した選択をします。