中古 NIKON NSR 1505 i7A #9160457 を販売中

NIKON NSR 1505 i7A
ID: 9160457
ウェーハサイズ: 2"
I-line stepper, 2" Reticle size: 5".
NIKON NSR 1505 i7Aは、幅広い微細加工用途向けに設計された、高度で高性能なウェーハステッパーです。クリーンルーム、半導体、電子部品製造用に設計されており、高い精度とスピードを提供します。NIKON NSR-1505I7Aは、光学/レーザー/一般的なイメージング技術を組み込んでおり、ユーザーは複数のレイヤーにわたってより良いパターン忠実度と一貫したステッパー性能を達成することができます。このデバイスは、5g加速度と10 μ mの精度に対応できる5軸アライメント装置を備えており、オーバーレイ誤差が低減され安定しています。システムのi-lineおよびg-lineアライメントは、最高の精度を提供し、ウェーハの拡張または縮小を可能にします。また、光学機器の低減率が大きく、高解像度・高精度を実現しています。NSR 1505 I7Aは容易な維持管理のために設計されています。スマートメンテナンス機能により、ユーザーはデバイスを確実かつ効率的に動作させることができます。NSR 1505 i7Aは工場で校正されており、セットアップ時間がほとんど必要ないため、ユーザーはより速く作業することができます。このツールには、産業用セッティングで使用すると安全性が向上するレーザー安全対策が組み込まれています。広々としたメンテナンススペースは、特別なツールなしでアクセスでき、サービスとメンテナンスが簡単に行えます。ニコンNSR 1505 I7Aは、さまざまなステッパー要件に対応するように設計されています。高性能段階およびシャッター制御、自動温度制御、およびスループットを最適化する高度なプロセス制御アルゴリズムが含まれています。ステージはZストロークが長いため、複数のウェハを同時に露出させることができ、大きなYストロークが可能です。その他の機能として、露光モード、オートフォーカス、高度な液晶ジギング、ピクセルマッピング補正などがあります。NIKON NSR 1505 I 7 Aは、最も要求の厳しい微細加工処理およびイメージング用途に最適なツールです。高精度、価値、性能を兼ね備えているため、あらゆるプロフェッショナルな半導体、電子部品、またはクリーンルーム製造環境に最適です。このデバイスはISO 9001および14001認証を取得しており、最高品質の結果を保証します。このステッパーは、高度な微細加工のための信頼性の高い効率的なツールをユーザーに提供します。
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