中古 NIKON NSR 1505 i7A #293634869 を販売中
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ID: 293634869
ウェーハサイズ: 4"
i-Line stepper, 4"
Non-funtional parts:
Circuit boards: A-5, A-9, A-13, A-17, A-19, A-23, A-34, A-35
(3) Motor modules RT
Z/Theta stage motor module
Stage screw
X-Y Axis motor
Mercury lamp base
Power supply of each module
Wafer and reticle handler of module motor
FIA.
ニコンNSR 1505 i7Aは、最も要求の厳しいリソグラフィック要件を満たすように設計された最先端の深紫外線ウェハステッパー装置です。優れたオーバーレイ精度、幅広い露光ツール、直径7インチまでのウェーハ加工が可能です。NIKON NSR-1505I7Aは、強力でデジタル制御された5mW I ラインArFレーザーを使用しており、幅広い被曝線量で作業できます。このシステムには、非直交歪みに対する高度なスキャンフィールド平坦化機能を提供することにより、優れた性能と精度を提供する統合された近距離補正器（NFC）写真低減ユニットが装備されています。これは、優れた均一性、低収差、および高解像度を提供する革新的な平面波照明マシンによって支援されています。さらに、NSR 1505 I7Aには高容量アライメントツールが搭載されており、すべての露光条件およびアプリケーションにおいて優れたアライメント精度を提供します。アライメント・アセットには、高解像度のサブミクロン・プラットフォームと、特許出願中の自動選択可能なレチクル・アライメント（ASRA）モデルが含まれます。ASRA装置はまた、すべてのサンプルが正確に整列されるように高度なオーバーレイ測定を提供します。NSR 1505 I 7 Aの露出システムは、さまざまなサイズ、厚さ、露出要件のウェーハを処理するように構成することもできます。これは、特許出願中の可変チューニングオプションを使用して行われます。これは、迅速に設定でき、各アプリケーションの特定のニーズに合わせて調整されます。さらに、NIKON NSR 1505 I7Aには、幅広いコンプライアンスおよび露光試験が装備されています。これには、高精度のオーバーレイ測定、露出検証テスト、および幅広いウェーハ露出均一性テストを実行する機能が含まれます。結論として、NSR-1505I7Aは、露光ツールの広い範囲を持つ優れたウェーハステッピングユニットであり、7インチのサイズまでのウェーハを処理する能力。NSR 1505は、高度な露光装置、NFC撮影削減ツール、特許出願中の可変チューニングオプション、およびオーバーレイ測定、露出検証テスト、および幅広いウェーハ露光均一テストを備えた理想的なイメージングアセットで、多くの要求の厳しいリソグラフィ用途に適したi7Aです。
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