中古 NIKON NSR 1505 i6A #9281881 を販売中

ニコンNSR 1505 i6Aは、高度なリソグラフィ用途向けに設計されたウェーハステッパーです。最大フィールドサイズ150mmの高解像度パターンを生成できる超小型レイトレーシングリソグラフィーシステムです。NSR 1505 i6Aは、KrF （Krypton Fluoride）エキシマレーザー光源を内蔵し、200nm以下の分解能を実現しています。KrFおよびArF（アルゴンフッ化アルゴン）レーザーとの互換性により、低コストのデバイス生産が可能になります。NIKON NSR 1505 i6Aは、1024chデジタルエンコーダ、高精度アライメント、高度なレチクルレスプログラマブルステージを組み合わせて、シンプルで正確なアライメントと露出を提供します。イメージペア認識システムを搭載しており、材料を正確に整列させることができ、ビジョンシステムの必要性を排除します。さらに、最大400mm/sのステージスキャン速度により、露出時間が大幅に短縮されます。さらに、NSR 1505 i6Aには2つの完全にカスタマイズ可能なソフトウェアパッケージが装備されています。ASTC （Automated Stepper Controller）はリアルタイム露出制御を可能にし、ALC （Automated Lithography Coordinator）はマルチダイパターニングとプロセスパラメータの最適化を可能にします。そのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、操作を迅速かつ簡単にします、内蔵の心配のないワイヤーディレイ補正は、可能な限り最高のハードウェア精度を保証します。さらに、NIKON NSR 1505 i6Aは、外部に取り付けられたコネクタを介して機能にアップグレードすることができ、追加のコンポーネントを使用してシステムをカスタマイズすることができます。これは、銀行を破ることなく効率的な生産性を促進するのに役立ちます。高レベルの操作性、ウェーハの優しい取り扱い、最適化されたウェーハアライメントにより、長年の信頼性と効率的な動作を保証します。そのため、NSR 1505 i6Aは、高度で費用対効果の高いリソグラフィに最適です。