中古 NIKON NSR 1505 i6A #293817954 を販売中

ニコンNSR 1505 i6Aは、リソグラフィープロセス用に設計された高性能、高精度のウェーハステッパーです。デジタルサーボモータ、クローズドループ光学レンズ装置、堅牢なホルダーセンシング機能など、最先端の機能を備えています。NSR 1505 i6Aは、1。3 μ mの解像度、1。0 μ mの最小欠落ワード、完全に自動化されたアライメント、および所定の露光量を正確に繰り返すことができます。NIKON NSR 1505 i6Aの光学系には、特許取得済みの大口径高絞り（NA）レンズユニットが搭載されています。デジタルサーボモータは、高精度の超高感度動作を実現し、最高速度、精度、解像度を実現します。NSR 1505 i6Aのホルダーセンシング機能は、ウェハホルダーの表面レベルの正確な変化を検出できるため、露出線量の正確な繰り返しが必要な場合にも非常に役立ちます。NIKON NSR 1505 i6Aは、画像に必要な機能に応じて、最大1。3 μ mの高解像度画像を作成することができます。また、完全に自動化されたアライメントアセットを備えており、アライメントプロセスを簡素化し、処理を容易にします。このモデルはまた、高いフォトリソグラフィープロセス安定性を保証する均一な露出線量を提供します。50〜200mmの幅広いサイズのウェーハや、さまざまなフォトマスクのサイズに対応できます。要するにNSR 1505 i6Aは、高精度のリソグラフィ処理用に設計された精密ウェハステッパーです。デジタルサーボモータを搭載した高NAレンズ装置、ホルダーセンシング機能、正確な線量再現性を実現する完全自動アライメントシステムを備えています。NIKON NSR 1505 i6Aは、幅広いウェーハに対応し、露光線量が均一な最大1。3 μ mの高解像度画像を作成することができます。NSR 1505 i6Aの多くの機能により、最高精度のリソグラフィープロセスに最適なツールとなります。