中古 NIKON NSR 1505 G7E #9386319 を販売中
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ID: 9386319
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Stepper, 6"
ASAHI S75 Chamber
Chamber temperature: 23°C
Fixed reticle microscope, 15mm
PDP-11/73 Computer
HP 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera
Wafer condition: Silicon
OF Detection
Wafer loader: Type 1
Wafer carrier table: Left / Right
Reticle, 5"
No lens data
Rack type: Right
Electric source: NEMA Box
CVCF
1/2 Switch
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7Eは、リソグラフィ用途に優れた精度とスループットを提供するNIKONの高性能ウェーハステッパーです。業界をリードする± 4 µmのパターン配置精度とCDの均一性のための± 10nmを備えた、クラスの最先端のステッパーです。CAROS（クロマチック・アベレーション・リダクション・オプティカル機器）を搭載し、優れたイメージング品質と最高のパターン忠実度と再現性を提供します。NIKON NSR-1505G7Eは、最大250Wの光源、複数の露光モード、および露光エネルギー7を備えています。5。5インチx 5。5インチの広い光学分野と140 nm以下の高解像度を備えています。ステッパーは、優れたパターン開発に独自のRCAS （Robust Corrective Algorithm Shaping）光学システムを使用しています。露出精度のために、G7Eは最高のエッジリンギングと歪み特性を維持するためのリアルタイムフィードバックを提供する革新的な「露出比モニター」を提供しています。NSR-1505 G7Eには、照明スペクトルの簡単な変更を可能にする自動二色カラーフィルタレットが含まれています。また、フィールド平坦度の補正を簡素化するオートフォーカスユニットや、高精度ウェハスキャンをサポートする可変レーザー/イントラフィールド平坦度/補正ロッドを装備しています。G7Eの露出精度は、最適な露出エネルギー設定とレシピ開発を提供する「ベストフィット原理」によってさらに向上しています。NSR 1505 G7Eのその他の機能には、空冷焦点面シャッター、自動ウェハアライメントマシン、希望する解像度に合わせたウェハスピード調整の2段階、より良いデータ管理とセキュリティを提供するオンボードOSなどがあります。優れたイメージングと精度を提供することにより、G7Eはウェーハステッパー技術の業界標準です。ファブレスチップ製造からMEMS、ナノリソグラフィ、マイクロエレクトロニクスなどのハイエンドイメージングソリューションまで幅広い用途に適しています。
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