中古 NIKON NSR 1505 G7E #9261836 を販売中

NIKON NSR 1505 G7Eは、半導体デバイス製造、OLEDデバイス構造製造、インプリントリソグラフィなど、さまざまなリソグラフィ用途に使用されるハイエンドウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、優れたアライメント精度と再現性を提供するように設計されており、精密ウェーハの位置決めと正確なパターニング機能を可能にします。NIKON NSR-1505G7Eは、露出したフィルムのアライメントの精度を高めるためのフルフィールドダイオードレーザーアライメント装置を備えています。このウェーハステッパーのコンパクトな設計は、リソグラフィ生産のためのコンパクトで効率的なプラットフォームを提供し、1時間あたり最大150個のウェーハ処理能力により、高いスループットと迅速な生産時間を保証します。NSR-1505 G7Eは5軸電動ステージを備えており、最大150個のウェーハを同時に収容できます。この5軸システムには、X、 Y、およびR軸で最大100mmのステージ移動が可能なモーター付きリニアおよび回転ステージが含まれています。さらに、横方向のステージ移動は、X軸とY軸で最大200mmまで可能です。一体型の光学ユニットにより、各露光点をフォーカス面に高精度に配置できます。また、光学機器を使用することで、露出の位置、倍率、各露出のフィールドサイズを調整することができます。また、NIKON NSR-1505 G7Eは、1または5 umの解像度を選択可能で、アライメント精度の高いものから露光精度の高いものまで選択できます。NSR 1505 G7Eには、内蔵のバックサイド照明ツールと自動バックサイドのインデント検出も備えています。このバックサイド照明アセットは、フィルム露光時に高いコントラストを提供し、ユーザーが存在する可能性のあるバックサイド機能を表示および検査することができます。バックサイドの自動インデント検出モデルは、露出の品質に影響を与える可能性のあるバックサイドのインデントや欠陥を検出することができます。NSR-1505G7Eはまた、ウエハステッパーの優れた動作のための特許取得済みの超低慣性環境分離構造を備えています。この構造は光学機器を停止させるように設計されており、環境からの振動や衝撃の影響を排除します。さらに、ニコンNSR 1505 G7Eは、ウェーハレベル、チップレベル、サブミクロンレベルの露出が可能で、リソグラフィの生産において最大限の柔軟性を発揮します。この費用対効果の高い高性能ウェーハステッパーは、あらゆるリソグラフィ製造ニーズに最適です。NIKON NSR-1505G7Eは、様々なチップ構造に対して高精度な露出を提供し、毎回常に優れた結果を提供することができます。低いフットプリントと優れた性能を備えたこのウェーハステッパーは、あらゆるリソグラフィ製造に最適です。