中古 NIKON NSR 1505 G7E #9195757 を販売中

NIKON NSR 1505 G7Eウェハステッパーは、半導体集積回路を処理するための高精度の露出装置です。特に量産用に設計されており、信頼性の高いデュアルビームシステムにより、高速かつ正確なウェーハ露出を行うことができます。G7Eの解像度は0。5 µmで、180mm以上の倍率で使用すると13倍の低減が可能です。これにより、最新の生産ノードでの微細なパターン作成に最適です。それは適切な露出を保障するために各ショットの前後の露出の線量を正確に測定する死に分解能のプロファイルモニターが装備されています。また、G7Eは高速レイヤリングモードを備えており、迅速なウェーハ処理が可能です。このユニットには、さまざまなレンズオフセットとフィールドマグが付属しています。これにより、ウェーハエリア全体にわたっても、低〜中レベルのパターンを高精度に露出させることができます。G7Eは長距離露光モードを提供し、長距離露光を可能にし、光収差補正機（OACS）は最高精度を保証します。さらに、このツールの光学系は校正メカニズムを内蔵して設計されており、メンテナンス担当者が校正チェックや調整を素早く行うことができます。このG7Eには完全に自動化されたビジョンアセットが組み込まれており、包括的なウエハ検査と欠陥検出が可能です。さらに、サイクルタイム最適化装置を搭載し、動作中のダウンタイムを削減し、ウェーハの厚さとサイズを監視するためのインラインウェーハメトロジーシステムも備えています。G7Eは使いやすいユーザーインターフェイスを備えており、ランプアップサイクルを加速するために、設計データを自動的に生産に適した形式に変換するシーケンス変換ユニットを提供しています。また、露出窓の進行状況をリアルタイムで把握できるインスタントフィードバックマシンを搭載しています。NIKON NSR-1505G7Eウェーハステッパーは、現在市場で入手可能な最も先進的で高精度な露光システムの1つです。このツールは、高精度の光学系、キャリブレーション機構、直感的なユーザーインターフェースを備えており、ウェーハ処理のニーズに優れたソリューションを提供します。