中古 NIKON NSR 1505 G7E #293717121 を販売中

NIKON NSR 1505 G7Eは、大容量ウェーハ処理装置用に設計された5軸ウェーハステッパーです。NIKON NSR-1505G7Eは、堅牢で高精度なリソグラフィを提供するように設計されており、最も困難な生産環境でも信頼性の高い結果をもたらします。この製品は XYZと5軸の動きで150mm 150mmのフレームサイズと40mmの移動で設計されています。ステッパーにはニコン独自の5軸技術を搭載し、精度とスループットを向上させた3Dイメージングが可能です。NSR-1505 G7Eまた、25˚Cから+50˚Cまでの広範囲の動作温度範囲を提供する高速露出レーザーを備えています。ステッパーは、ウェーハ表面全体に均一な照明を作り出すために高精度の部品を使用して設計された高周波照明装置を備えています。このシステムは、5つの軸の間で調整可能なエネルギー分布を提供します。NIKON NSR-1505 G7Eは、基板アライメントの一貫性と再現性を確保する自動ウェーハ位置制御ユニットも備えています。ステッパーには8インチの接触イメージセンサー（CIS）が搭載されており、ウェーハ上の個々の画像の高さの偏差を検出して測定することができます。これにより、0。2ミクロンの線幅と接触パターンの要件を満たす最高精度が保証されます。オプションの高精度倍率トレーニングマシンを使用することで、さらに精度を向上させ、ライン幅のバリエーションを減らすことができます。NSR 1505 G7Eは、サイレント操作、振動のないモーションツール、ウェーハエッジへの自動アライメント、および優れた線量制御を提供します。ステッパーは、ArFレーザー光、UV LED、 UVレーザーなど、幅広いウエハサイズと種類、さまざまな放射光源をサポートするように設計されています。さらに、ステッパーはユーザーフレンドリーで高度な制御ソフトウェアを備えており、生産性を向上させ、費用対効果を向上させるための安定性と精度の操作を提供します。操作データに簡単にアクセスでき、実行から実行まで同じ結果で自動操作を再現できます。全体として、NSR-1505G7Eは大量の半導体ファブに最適なリソグラフィーソリューションです。高度な機能により、業界で最も信頼性が高く生産性の高いウェーハステッパーの1つになります。