中古 NIKON NSR 1505 G7E #293665026 を販売中

ニコンNSR 1505 G7Eウェーハステッパーは、半導体製造のコスト削減とスループット向上を目的とした先進的なリソグラフィーツールです。アライメント、フォトリソグラフィー、プロセス計測アプリケーション用に設計された光学イメージング装置です。このツールは、0。75の高性能Numerical Aperture （NA）を搭載しており、業界最高の解像度を誇ります。このシステムは、レジストリクリティカルなアプリケーションにおいて、要求の厳しいリチクルアライメントとオーバーレイ精度の要件を満たすように設計されています。NIKON NSR-1505G7E Wafer Stepperの高度な設計は、一貫した光学イメージング性能と優れた全体的な精度を提供することができます。高速ステッピング・センタリング機能を備えたダイレクトドライブ・低慣性スキャナと、回転可能なフレームミラー、異光学レンズ、高効率エキシマレーザーで構成された光学機器を採用し、長寿命、高均一性、アライメント登録ミスの低減を実現しています。NIKON 1505 G7Eウェーハステッパーは、完全に自動化されたDOFおよび高精度登録ツールを備えており、チップ高さのバリエーションを最小限に抑えます。また、パターン収縮の問題に対処するためのSEMI標準レンズコーティングアセットも付属しています。このモデルには、照射中の潜在的な不均一性を検出および修正するための組み込み機器テストモードが含まれています。また、最高精度のアライメントとイメージングを実現する最先端の高速ミラー駆動システムも搭載しています。NSR-1505 G7Eウェーハステッパーは、45度、90度、180度、チップ/チルトまたはチルト/回転対称性、六角形/スクエアリバースなどの複数の画像フォーマットと互換性があります。また、パターンエディタを内蔵しており、ユーザーは正確なパターニングとイメージングのためのカスタムデザインを作成できます。このユニットには、ユーザー定義サイトでのFocus Sensitivityを測定する効率的なFocus-Checkプロセッサも組み込まれています。さらに、このツールには、フィールド歪みおよび/または非均一性を制御するための革新的な熱管理マシンが装備されています。NSR-1505G7E Wafer Stepperは、リソグラフィ処理を簡素化し、精度を向上させる使いやすい高性能イメージングツールです。このアセットは、石英、ケイ素、二酸化ケイ素、ヒ素ガリウムなど、幅広い基板で動作するように設計されています。さらに、このモデルは、ほぼすべてのプロセスラインコンセプトと完全に互換性があり、プロセスおよびプロセスモジュールの特定のニーズに完全にカスタマイズできます。