中古 NIKON NSR 1505 G7E #293637485 を販売中

ニコンNSR 1505 G7Eは、精密半導体デバイスの製造に使用されるプロフェッショナルグレードのウェーハステッパーです。このステッパーは、回路部品を損傷することなく、あらゆる材料の最小限の構造をパターン化することができます。独自のステップ分解能± （5 µm）と± （2。5 µm）のオーバーレイ精度で、直径150mmまでのウェーハ上で非常に正確なパターンを生成することができます。NIKON NSR-1505G7Eは、2つの86mmの柱を1つの大きな堅牢な構造に組み合わせたユニークなダブルコラム設計を採用しています。この列の配置により、パターニングプロセスの各ステップがより安定し、正確で、変形がないことが保証されます。ステッパーには改良されたレーザーパルス補正装置も備えており、さまざまな厚さの基板に正確なパターンを提供するのに役立ちます。NSR-1505 G7Eは、最大8メガピクセルイメージングをサポートする高解像度スキャンシステムを備えています。このユニットは、各ウェーハに最大12万パターン/mm（正方形ピッチ）の非常に高いピクセル解像度を提供します。このスキャン機は改良された2次元ステージスキャナと組み合わされており、優れた運動性能を提供し、脈動の不規則性を低減します。NIKON NSR-1505 G7Eのレチクルスキャナは、自動位置認識と改良されたスプリットミラー自動追跡ツールを採用しています。これら2つの機能を組み合わせることで、ウェーハ表面全体で迅速かつ正確なアライメント測定が可能になります。高度なウェーハローダーアセットは、頻繁なウェーハの変更を容易にフィードし、管理するのに役立ちます。NSR 1505 G7Eは、多くの高度なプロセス制御も提供しています。露出線量、ウェハステージの温度と湿度、および動作温度を正確に制御する機能を備えています。さらに、ステッパーは焦点とビームの傾きを制御することができ、パターニングプロセスをさらに正確かつ信頼性の高いものにします。NSR-1505G7Eは、要求の厳しいハイスループット半導体生産環境に最適です。高度なプロセスを確実かつ正確に処理することができるため、トップレベルのパフォーマンスを必要とするオペレーションに貴重な付加価値があります。