中古 NIKON NSR 1505 G7E #293636234 を販売中

ニコンNSR 1505 G7Eウェーハステッパーは、大面積の投影露光機能を備えた高度なリソグラフィ装置です。さまざまなレイヤープロセスをコンパクトなサイズで確実かつ迅速に提供します。NIKON NSR-1505G7Eウェーハステッパーのフレキシブルな設計により、半導体デバイスやその他の電子部品の製造における正確なパターニング用途を可能にします。NSR-1505 G7Eには、デバイスのパターンを正確かつ反復可能に保つさまざまな高度な機能が付属しています。NSR 1505 G7E Stepping Motorと25 µmの5軸モーションコントロールモジュールを搭載しているため、正確で高速なスキャンが可能です。ステッパーの精度は、様々なレンズ設計や様々な露出パラメータに対応できる高度なモーターコントローラでさらに強化されています。このマシンは、高精度のオーバーレイアライメントとマスクアライメントを可能にします。構成に応じて0。15ミクロンと0。12ミクロンの解像度があります。また、NIKON NSR-1505 G7Eウェーハステッパーは、試料の積載速度が最大2分の8インチウェーハ露出領域を備えています。照明角度の広い範囲とレーザークロスファイヤスキャン機能は、露光エリアに到達しにくいアプリケーションのためのさらなる柔軟性を提供します。FUJINON Endura NSR-1505G7E倍率SNM-100kレンズを搭載しており、幅広い露光範囲と解像度を提供します。また、最大8インチのウェーハ露出領域を備えた大容量ウェーハハンドリングツールも提供しています。また、各種分析ツールオプションにも対応しており、露光装置の状態や露光効果を効果的に確認することができます。ニコンNSR 1505 G7Eウェーハステッパーは、プロセス速度の向上と操作の簡素化を実現するように設計されています。その光学設計は正確な監視および制御モデルを可能にし、急速で、正確な露出変数を可能にします。全体的に、NIKON NSR-1505G7Eは、さまざまなデバイス製造プロセスに正確なパターニングを提供するコンパクトで強力なリソグラフィ装置です。