中古 NIKON NSR 1505 G7E #293592861 を販売中
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NIKON NSR 1505 G7Eは、4インチウェーハスキャンと8インチウェーハスキャンの両方に完全に統合された、高度な性能、デュアルビーム、フルフィールドステッパーです。このNIKON装置は、特に費用対効果の高いウェーハステッピングソリューションです。NIKON NSR-1505G7Eは、高度なリソグラフィ技術の世界に多くの技術の進歩を紹介しています。これは、高度なナノリソグラフィー成分が含まれており、より高い露出精度とより広いプロセスウィンドウのために高い数値開口(NA)光学系を使用しています。これは、高倍率と広範なプロセスウィンドウでも高解像度と露出精度を提供します。NSR-1505 G7Eの高性能露光学系には、先進光学系、エラストマー光学素子、高NA投影レンズなどがあります。最先端の光学ユニットは、広い露光領域で安定した高精度イメージングを提供します。高度な光学装置は、大きな露光分野で高いアライメント精度と高いリソグラフィ露光精度を実現するように設計されています。NSR 1505 G7Eはシングルウェーハアライメントツール(SWAS)を備えており、リソグラフィーレチクルの高速かつ正確なアライメントを可能にします。SWASは、高度なインラインセンサーと光学系を使用して、機械的な動きなしで露出フィールドのアライメントを迅速かつ正確に測定します。このアセットは、高解像度の空中画像と露光トポロジーと露光レイアウトの統合を可能にします。NSR-1505G7Eには大径ウェーハ段も備えており、最大直径8インチのウェーハを加工することができます。このモデルは、高度なウエハハンドリング機構を備えており、正確で正確なステージ移動を可能にし、生産自動化のための低いオーバーヘッドを提供します。NIKON NSR-1505 G7Eは、高速リソグラフィ生産により高スループットを実現する高い生産性モードを提供します。また、低消費電力モードを備えているため、高いスループットを維持しながら低消費電力で動作できます。さらに、NIKON NSR 1505 G7Eは、高度な安全機能を内蔵し、効率的なリソグラフィ生産を可能にする自動ウェハハンドリングを提供します。NIKON NSR-1505G7Eは、位置許容文字パターンにより、高いプロセスウィンドウ差別(PWD)品質レベルで高度なパターン形状を作成することができます。高精度のパルスシェーピングアーキテクチャ(PSA)も備えており、より高精度な露光を実現します。最後に、NSR-1505 G7Eには、高度なリソグラフィプロセスシーケンスエディタや特殊な関連ソフトウェア開発キット(SDK)など、多数の互換性のあるアクセサリがあります。結論として、NSR 1505 G7Eは、高度で高性能なウェーハステッピングソリューションです。高度なナノリソグラフィー部品、高解像度光学、高精度イメージング、大口径ウェハステージ、SWASアライメント装置、高速リソグラフィー生産モード、低消費電力、高度な安全機能、および専用SDKを備えています。これらの要素を組み合わせることで、NSR-1505G7Eは優れた費用対効果の高いウェーハステッピングソリューションになります。
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