中古 NIKON NSR 1505 G7E #293589147 を販売中

ニコンNSR 1505 G7Eは、ハイスループットと高忠実度リソグラフィ用に設計されたウェーハステッパーです。マイクロサイズとナノサイズのマイクロチップの両方を製造するために設計されています。マシンの光源は、露光強度の高いレーザーダイオードアレイです。露出面積は121mm×121mmで、焦点深度は0。75 μ mです。マシンのエンジンは、独自のサーボ制御動作装置であり、滑らかで正確な動作を提供します。光学システムは、このサーボ制御モーションユニットによっても駆動され、0。6の数値開口度（NA）と3。6 mmの動作距離を持つ2レンズ機で構成されています。このツールは、そのパフォーマンスを継続的に監視し、最適化することができ、最高の精度を可能にします。NIKON NSR-1505G7Eは、X軸とY軸で120mmの広い移動範囲と200mm/secの最大移動速度を持つステージアセットも備えています。この段階モデルは熱機械的な安定性のために設計され、空気乱流を制限します。機械は速く、正確な焦点設定のための手動自動焦点（MAF）装置を提供します。このシステムは長寿命であり、表面の平坦性を検出することができ、ウェーハ全体のスムーズな移動を可能にします。また、大容量ローダー/アンローダーユニットを内蔵しているため、ユーザーは1回の操作でウェーハをロードおよびアンロードすることができ、スループットが速くなります。NSR-1505 G7Eには、大容量のウエハカセットも含まれています。これは、ウェーハID管理マシンとリンクして、ウェーハキーインと高速ウェーハスロットのロードを可能にします。NSR 1505 G7Eは全体的に、高速ローディング/アンロード処理、ハイエンド光学系およびモーションシステム、および長寿命を提供する、高スループットおよび高忠実度リソグラフィに理想的なマシンです。ナノとマイクロチップの量産に最適です。