中古 NIKON NSR 1505 G7D #9045469 を販売中

ニコンNSR 1505 G7Dウェーハステッパーは、様々な用途に対応した精密リソグラフィ装置です。高度な半導体包装および製造における厳しい歩留まり要件を満たすことができる量産リソグラフィープロセスを実行することができます。NSR 1505 G7Dは、優れたスループット、スループット安定性、およびクラス最高の解像度を提供する高精度で高スループットリソグラフィーシステムです。また、均一で安定した露光量を確保するために設計されており、お客様は最高品質の半導体デバイスを生産することができます。また、3次元での自動基板アライメント、水平および垂直露出動作のための不平等な露出制御、自動基板インデントおよびダスト検査、さまざまな基板ハンドリングオプションなど、多くの高度な機能が組み込まれています。ニコンNSR 1505 G7Dは、レーザダイオードを備えた5ミクロンのスリットを使用し、最大出力200 mW/cm2の放射を生成します。365〜445nmの広い波長範囲を提供し、最大露光時間は5 μ msです。それは18 μ mの最低の焦点、また広い温度較差上のサブミクロンフォーカスを達成できます。NSR 1505 G7Dは、直径200mmまでのウェーハをサポートするダイレクトプロジェクションステッパーを使用しています。また、シリコン・オン・インシュレーターや薄膜箔など、さまざまな基板に対応できます。また、フォトレジストなどにも使用でき、先進的な半導体リソグラフィに最適です。NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepperを使用する場合、スキャンおよびフォーカスパラメータをプログラミングして、高い均一性と歩留まりを持つ多数の基板を処理することができます。さらに、パターン認識機とオートフォーカス機能を内蔵しているため、アライメントや基板のセンタリングも容易に行えます。最後に、NSR 1505 G7Dは、マスク、プレート、その他のアクセサリ部品との互換性が高いです。これにより、既存のリソグラフィ装置との統合が容易になり、異なるアプリケーション間での技術の迅速な転送が可能になります。