中古 NIKON NSR 1505 G7A #9160455 を販売中

NIKON NSR 1505 G7A Wafer Stepperは、半導体などの電子部品用フォトマスク基板の製造に使用される先進的なイメージングツールです。このツールは、深紫外線（DUV）波長光を使用して基板上に刻印するパターンを正確かつ一貫して定義する高精度の光学イメージング装置を提供します。NSR 1505 G7Aは最大150mm x 150mmの画像領域を持ち、軸対称数開口（NA） 0。68を利用したVycor強化光学システムを備えています。この高性能ユニットは、最大6枚の投影レンズを正確に配置し、視野を最大限に広げることができます。また、NIKON NSR 1505 G7Aは、248nmの深紫外波長で最大2。4 μ m （0。096 mil）の分解能を生成することができます。NSR 1505 G7Aの主な特徴は、DoFエンジニアリング、ステップガラスズームレンズ、およびQV半導体材料です。DoFエンジニアリングは、0。2 umから40 umまでのガウス強度分布を持つ均質な被写界深度を提供します。ステップガラスズームレンズは、複数の倍率で機能の歪みと正確な表示を減らすことができます。QVの半導体材料はよい付着および長期安定性の信頼できるエッチングおよび沈着の性能を備えています。このツールは、露光中の画像フィールドのドリフトを最小限に抑える3プレート画像フィールド安定化（TP-IFS）プラットフォームを備えています。これは、生成されたパターンがそれぞれの露出と同一であることを確認するのに役立ちます。NIKON NSR 1505 G7Aには、プリプロセス基板の正確なアライメントを可能にするウエハレベルのアライメントマシンと、再現可能なウエハセンタリングと生産性の向上を実現する真空スライドフィルムステージが内蔵されています。このツールには、露出したウェーハにマスクを正確に登録するための自動レーザーマーカーが含まれています。さらに、このツールは、最大8つのジョブ設定を実行し、1回のショットで複数のチップを公開できる高性能の露出制御アセットを備えています。最後に、NSR 1505 G7A Wafer Stepperは、最大50台のディスクをキャプチャし、自律的に検査を行うインテリジェントなフレックスディスクハンドラと統合されています。これにより、量産に最適な品質と性能が保証されます。