中古 NIKON NSR 1505 G7 #9067646 を販売中

NIKON NSR 1505 G7は、薄いウェーハ上で高精度のマイクロエレクトロニクスを迅速に製造するために設計された先進的なウェーハステッパーです。NIKON NSR 1505G7は7インチのレチクルサイズで、サブミクロン分解能は50 nmで、最大スキャン速度は320 mm/sです。0。1 μ mの最大ステップと繰り返しの繰り返しが可能で、複雑なアーキテクチャを持つハイカットや基板上の微細なパターンを作成するのに最適です。ステッパーはまた、4から10 μJ/cm2までの露出レベルの広い範囲を提供しています。NSR 1505 G7は、高度なスムージングプロセス照明制御（SIC-IC）装置を使用して、高スループットの高解像度イメージングを提供します。SIC-ICシステムは、4×4の照明設計による可変強度レーザー光源と回折制限光学を使用して均一な画像処理を行い、フォトレジストマスクの汚染、汚染、汚染、陰影を低減することができます。NSR 1505G7には、高信頼性で堅牢なデュアルビーム露光ユニットが搭載されており、高速で高解像度の画像処理が可能です。露出機は、4つのレーザービームを使用して複数のウェーハを並列に配置して露出するため、サイクル時間の短縮と加工精度の向上を可能にします。ステッパーは、薄膜トランジスタ（TFT）ゲートレベルのフォトリソグラフィも可能で、微細回路の微細加工に適しています。マルチスプリットイメージング（MSI）機能により、高アスペクト比の機能を実現し、高い精度でサブミクロンパターニングを実現します。NIKON NSR 1505 G7は、低温ポリシリコン（LTPS）や光導電性ポリシリコン（PCPS）プロセスなどの用途に適した暗視野および明るい視野イメージングも可能です。ステッパーには、ユーザー入力を最小限に抑え、直感的なユーザーインターフェイスを提供する操作が簡単なツールも装備されています。これにより、オペレータはストレスと混乱を最小限に抑えてステッパーを素早くセットアップして操作することができます。さらに、ステッパーには、レーザー光源またはレチクルの偶発的な露出からユーザーを保護するためのさまざまな安全機能も装備されています。全体として、NIKON NSR 1505G7は、高いスループットで高精度のマイクロエレクトロニクスを製造するために使用できる高度なウェハステッパーです。ダークフィールドと明るいフィールドイメージングで高解像度のイメージングを実現し、デュアルビーム露光アセットによる正確なウェハパターニングとアライメントを提供します。また、さまざまな安全機能を備えており、ユーザー入力を最小限に抑えて素早く簡単に操作できます。