中古 NIKON NSR 1505 G6E #9299963 を販売中

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 9299963
ウェーハサイズ: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1505 G6Eは、最先端のフォトリソグラフィープロセス用に設計された、NIKONの最高級ウェーハステッパーです。このステッパーは、高分解能でスポットサイズが小さいため、高密度デバイスや高アスペクト比の構造の製造に最適です。専用のフィールドレンズを搭載し、露出精度を高めています。最大スキャン速度1000mm/sの8インチまでのサイズのウェーハを露出することができます。NIKON NSR-1505G6Eは、NIKON第5世代ステッピングプラットフォームを搭載し、ユーザーに多くの機能を提供しています。これには、ウェーハ検査、アライメント、露出、ステージ移動、ウェーハ処理、エッジ位置精度制御の段階で柔軟性と優れた性能を提供するインテリジェントステッパー技術が内蔵されています。ステッパーは完全に自動化されているため、幅広いプロセスパラメータを簡単にプログラムできます。NSR 1505 G6Eには、ニコン独自のアダプティブフォーカス調整技術も搭載しており、フライからナノメートルレベルへのフォーカスを補正できます。これにより、ウェーハ上に露出された最高級の機能の画像がシャープで正確なままになります。強力なスキャン増幅機能により、微細な画像形成を損なうことなくスキャン速度を2倍にします。この機能は、高解像度の画像を処理する場合に特に便利です。NSR-1505G6Eは最高の稼働時間および信頼性のために設計されています。モジュラー設計と低メンテナンス機能により、カスタマイズと拡張が容易になります。その主要コンポーネントは、迅速なメンテナンスとサービスのために簡単にアクセスできます。さらに、ステッパーは内部フィルターと強制気流システムのおかげでほこりから保護されています。ニコンNSR 1505 G6Eは、アスペクト比の高い高密度デバイスや構造物の製造に最適です。高精度の光学システムと高解像度により、すべての繊細な機能をウェーハに簡単に露出させることができます。直感的なステッパー技術やアダプティブフォーカス調整技術などの強力な機能により、NIKON NSR-1505G6Eはあらゆるフォトリソグラフィックアプリケーションに大きな投資をしています。
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