中古 NIKON NSR 1505 G6E #9261837 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、大量のウェハフォトマスク製造用に設計された全自動ウェハステッパーです。高度なスキャン精度とスループットと、部品交換時間の短縮を実現します。NIKON NSR-1505G6Eは、6段階のシングルウェーハ積載装置により、高精度なファインパターンウェーハの効率的な生産を可能にします。NSR 1505 G6Eは、2、6、8、12、15インチウェーハを処理するように設計されており、最大k1の直線性は0。5％以上です。最大露光波長は193 nmで、焦点調整は2。5 μ m未満です。外部光学システムにより、スループットと高精度パターニングが向上します。また、5ナノメートル以上の高性能レチクルの微細パターニング用のサブビームライティングユニット（SBS）も提供しています。NSR-1505G6Eには、信頼性の高い操作とプロセスの最適化を保証するための多くの機能があります。その内蔵の英数字ディスプレイは、ユーザーにマシン設定へのアクセスを提供し、マシンの診断とパフォーマンスパラメータを視覚的に表示します。その高度なデジタル制御ソフトウェアは、最も難しいプロセスでも、最適なスループットを保証します。また、自動キャリブレーションツールを内蔵しており、一度だけ設定する必要があり、瞬時に呼び出すことができます。NIKON NSR 1505 G6Eの高精度で安定したステージは、高精度で高品質な部品生産を実現し、歩留まりの向上と生産性の向上を実現します。自動ウェーハアライナーは、ウェーハチャックの変位エラーを補正し、手動の再配置の必要性を最小限に抑えます。NIKON NSR-1505G6Eは、操作中に最大限の安定性を提供し、部品交換を容易にするために、さまざまな追加機能を備えています。これは、さまざまな部品に対応する自動チャックアセットを備えており、手動の部品転送により非生産的な時間を短縮します。また、アライメント-カオス操作を低減するためのデュアルステージ露出と、多数の部品を容易にするための複数のステージ露出も備えています。NSR 1505 G6Eは、高精度な結果を得るために設計された、高効率で信頼性の高いウェーハステッパーです。高度な機能により、正確なスキャン精度と生産時間の短縮を実現します。堅牢な設計と使いやすいインターフェイスにより、NSR-1505G6Eは大量のウェハフォトマスク生産に理想的なソリューションを提供します。