中古 NIKON NSR 1505 G6E #9245623 を販売中
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NIKON NSR 1505 G6Eは、半導体及び関連産業における基板の精密加工用に設計された最先端のウェーハステッパーです。NSRのNIKON Heavy Nano Control IIプラットフォームをベースとした堅牢なワークスペースにより、高いスループットと均一性を実現します。基板は、高精度の6軸モーションコントロールシステムと超高精度ダイレクトドライブモータユニットにより、超高解像度と欠陥のない再現性で露出します。高解像度、高精度、高動的位置決め機により、基板を5nmまで加工できます。このツールは、超高精度パターニングタスクに最適化された3軸に対して0〜60°Cの温度補償を備えた熱的に安定したステージ設計を特徴としています。また、垂直/横方向のポジショナを内蔵することで、ずれた多角形の角度とX-y変調を正確に露出させることができ、より高精度で重複したパターンの再現性に優れています。また、NIKON NSR-1505G6Eは、自動フィールドアライメントとジャンプ補正ループを備えた業界トップクラスのアライメント精度を備えており、正確な登録と歪みエラーの排除を可能にします。機械の高度なアライメント精度は、欠陥検出と粒子認識を促進するのにも役立ちます。NSR 1505 G6Eには、高度なキャリアおよびステージアライメント機能、可変形状の正確かつ反復可能なパターン、光フレアと暗化、ミラーおよびアレイ機能など、幅広いプロセス機能が含まれています。その他の機能には、完全に自動化された接続と操作、ほこりやESD保護などの環境制御、組み込みのクリーニングアセットなどがあります。NSR-1505G6Eウェーハステッパーは、優れた性能と精度を提供する汎用性と柔軟性の高いモデルです。高精度で信頼性の高い加工機能により、あらゆるサイズの製造メーカーにとって、高いスループットと品質の生産を提供するために不可欠なツールです。
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