中古 NIKON NSR 1505 G6E #9233490 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、半導体の量産に使用される高性能ウェーハステッパー装置です。最大532mm x 603mmのイメージフィールドサイズで、4Xの縮小比で最大8インチのサイズのウェーハを撮影できます。このステッパーには深いUVマーキュリーランプが装備されており、HeNeレーザーベースのアライメントシステムを使用してウェーハ表面の均一な照明を可能にします。また、0。5 μ mまたは0。25 μ mの解像度を持つ高度な光学ユニットを備えています。このマシンには、画像処理中にウェーハをしっかりと固定するためのElectroStatic Chuck （ESC）と、ウェーハの表面全体に均一な光の露出を可能にするStep and Scan Long Exposure （SSLE）機能があります。また、NIKON NSR-1505G6Eは、大量のウェーハを撮影するための非常に効率的で生産性の高い設計となっています。このツールは、ウェーハキャリア、ロボットアーム、コンベアベルトを使用して、測定ステーション、ローディング/アンロードステーション、およびイメージングステーション間のウェーハを素早く移動させる自動ウェーハハンドリングアセットを備えています。さらに、ステッパーにはレシピ管理モデルも含まれており、ユーザーは各ウェーハのプロセス設定を素早く調整することができ、各イメージングプロセスに最適な結果を得ることができます。また、オートキャリブレーション機能を内蔵しており、セットアップ時間を最小限に抑えた高精度なイメージングが可能です。NSR 1505 G6Eは、リソグラフィなどの半導体製造工程の厳しい要件を満たすように特別に設計されています。また、信頼性が高く、MTBF （Mean Time between Failures）定格が50万時間を超えるように設計されています。NSR-1505G6Eは、SEMI E-53およびGEM（グローバル機器監視）規格に準拠しているため、必要なデータはすべてシステムから容易にアクセスでき、最小限の労力でアクセスできます。最後に、このステッピングユニットはEU RoHS規制にも準拠しており、環境への影響を最小限に抑えることが認定されています。