中古 NIKON NSR 1505 G6E #9227620 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、シングルパターンおよびマルチパターンウェーハステッパー動作の高精度な結果を提供するように設計された半導体デバイス用の重要な寸法（CD）およびオーバーレイ計測デバイスです。石英、溶融シリカ、CaF2など多種多様なイメージング基板で動作可能で、マイクロエレクトロニクスにおける様々なバックエンドおよびフロントエンドのデバイス構築用途に使用できるように設計されています。NIKON NSR-1505G6Eウェーハステッパーには、5KW二酸化炭素（CO2）レーザーと垂直スキャン軸を内蔵しています。最大0。2 µmの解像度を生成でき、最大24〜150mm/sのステッパー動作速度を提供します。主なステッパー操作パラメータには、フォーカスオフセット、位相シフト、スキャン繰り返し、スキャンサイズ、スキャン方向などがあります。NSR 1505 G6Eには、複数の検出器の最適化と構成システムが組み込まれており、さまざまなツールと画像処理システムを備えた多数の特殊な検出器と光学を備えています。その焦点モニターは、露出ごとに焦点位置の変化を検出することができ、デバイスは高精度と精度を達成することができます。さらに、その反構造の歪みやフォーカスコントロール機能など、多くのソフトウェアとハードウェアの強化が装備されています。NSR-1505G6Eは、トップダウン（L&L）、デフリンジ、マルチショット、ステッチなどのさまざまなイメージングモードを使用して、さまざまなアプリケーションに最適なイメージング結果を達成します。最大12個のブロックを同時に処理することができ、単一の露出で1つのウエハに複数のパターンを露出することができます。さらに、統合されたウェーハハンドリングシステムと、より高速な処理サイクルを容易にする自動ローディングおよびアンロード機能を備えています。NIKON NSR 1505 G6Eは、基板平坦度検査、CD測定、レジストプロファイル監視、画像強化、ねじ込みなどの用途に適しています。同社のウェーハステッピングシステムの一部であり、電気ウェーハレベルコンプライアンス試験用のNSR-1505パターンジェネレータと協力しています。NIKONの包括的なサポートとサービスネットワークに支えられ、お客様に最高水準の精度とパフォーマンスを提供する信頼できるシステムを提供します。