中古 NIKON NSR 1505 G6E #9209620 を販売中
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ID: 9209620
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 1988
Stepper, 4"
Main computer:
System: PDP
Hard disk
Disk drive: Floppy
Illumination type:
Shrinc type: Conversion
Revolver type: Conversion
Wafer stage:
Chuck type: 4" Pin
Screw type: Ball
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: 15 mm
Wafer alignment: WGA, LSA
Auto focus: Single
Wafer loader:
Wafer size: 4"
Loader type: Type1
OF Type: Flat
Flat zone: 6C
In-line: No
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
PPD1: No
Barcode system: No
Chamber type: ASAHI S71
1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6Eは、日本のメーカーであるNIKON製の高度なウェーハステッパーです。ステッパーは、さまざまな半導体コンポーネントやその他のデバイスの大量生産のためのウェハを正確に処理するように設計されています。ニコンNSR-1505G6Eは、ニコンサブハーフミクロン分解能(SHMR)技術を活用しています。この技術は、重要な次元で0。3 µmの小さな機能の処理を可能にします。NSR 1505 G6Eは、非常に正確なオーバーレイと丸みの再現性を実現し、オートフォーカス装置と2段レーザー露光システムを備えており、さまざまなステップでオーバーレイの不整合を最小限に抑えます。これにより、最小でも最も繊細な機能が正確に印刷され、整列されます。ウェーハステッパーには、環境要因により画像の任意のシフトに自動的に調整する画像補正ユニットも含まれています。NSR-1505G6Eは1時間あたり100単位以上の処理が可能で、6インチウエハまで対応可能です。また、高精度ステージ、4軸高精度モータ、多種多様な生産環境での信頼性と正確な動作を可能にする内蔵PLCマシンを搭載しています。NIKON NSR 1505 G6Eは、ライン、対角線、ダイマーキングなど、さまざまなパターンを処理することができます。また、透明誘電膜、ナノ画像、エアホールトレンチパターンなどの複雑な光学特性にも対応できます。ステッパーには、異常な状況からの自動回復を可能にする回復ツールや、クリーンで安全な生産プロセスを確保するための集塵アセットなど、数多くの安全機能があります。NIKON NSR-1505G6Eは、ウェーハ加工時に正確かつ正確な作業を提供するように設計された堅牢で信頼性の高いステッパーです。SHMR技術は、最先端の半導体生産に高い精度と柔軟性を提供し、信頼性と効率的な生産プロセスを保証します。
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