中古 NIKON NSR 1505 G6E #9209074 を販売中

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NIKON NSR 1505 G6E
販売された
ID: 9209074
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 1988
Steppers, 4" 1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6Eウェーハステッパーは、最も複雑なデバイスを製造するための高度な精密光学を備えた最先端のウェーハステッパーです。この装置は可能な限り最高の精度と歩留まりを可能にし、最高の精度で画像と細部をナビゲートします。最先端の半導体製造に最適なツールです。NIKON NSR-1505G6Eは、高度なウェーハステッパーです。これは、30nmの解像度で最高のパフォーマンスのアライメントシステムを備えています。イメージセンサーやスマートカードなどのハイエンド製品を管理するには、最大フィールドサイズ160mmの正方形で十分です。また、より高いスループットを確保するための柔軟なガラス基板を提供しています。速度に関しては、NSR 1505 G6Eには2つの露光源が装備されています。インライン誘導露光源とレーザー露光源。露出源はさまざまな必要性のための信頼でき、均一な性能を提供するように設計されています。レーザー露出源の最大露出速度は250 μ sec/fieldです。NSR-1505G6Eは、フロントエンド加工、リソグラフィ、低コストのダイアタッチなど、さまざまな用途に適しています。低ロス収差補正機能により、さまざまな露光条件にわたって一貫した結果が得られます。また、より良い登録精度のための低いスキャナー歪みを持っています。NIKON NSR 1505 G6Eの高出力クリーニングソースは、あらゆるパターンにわたって高品質の表面クリーニングを保証します。さらに、完璧なアライメントのための独自のトレーススタック機能を提供し、重要なアライメントの退屈なタスクをはるかに簡単にします。露出していないレジストレイヤーも、その後のプロセスステップに正確に揃えることができます。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepperは、上記の機能を超えて、コンパクトなパッケージを誇っています。さらに、サービスサポートとスペアパーツの修理が可能で、迅速に交換可能な非常に低いメンテナンスシステムです。NSR 1505 G6Eウェーハステッパーは、チップメーカーにとって印象的な機械です。高出力クリーニングソース、2つの露出源、最大パターンサイズ160のこのマシンは、良好な歩留まりで正確な結果を生み出すことができます。これは、マイクロエレクトロニクスの開発に携わる人々のための優れたマシンです。
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