中古 NIKON NSR 1505 G6E #9207086 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eウェーハステッパーは、半導体リソグラフィ用の高度なステッパーです。この装置は200mmウェーハ用に設計されており、独自の回折制限光学と特許取得済みの液浸技術が組み込まれています。この光学系にはマルチビームスキャニング技術が搭載されており、複数のレーザービームを同時に使用して優れた画像解像度と精度を実現しています。液浸技術は、レンズとウェーハの間に液浸媒体を適用し、精度を高め、光収差を低減します。このステッパーはまた、2つのビームを組み合わせてウェーハ上のマスクを正確に露出させるデュアルビームマスクアライナーを備えており、クラス最高のエッジ配置精度と線量の均一性を提供します。NIKON NSR-1505G6Eウェーハステッパーの高度なステージデザインにより、より大きな基板サイズを高精度に使用できます。その大きく、高度なウェーハステージは、600 x 600mmのXY作業領域と最適な安定性と精度のための滑らかで制御された動きを提供します。また、高性能ウェーハ保護装置を備えた大型ワークエンベロープを備えており、不適切な取り扱いによるマスクやウェーハの破損を防止します。NSR 1505 G6Eウェーハステッパーは、強力なウェーハスキャン機能を備えており、最大1200ウェーハ/時間のスループット速度を実現します。また、ウェハーマスクを露出しながら露出データをフライに書き込むなど、1サイクルで複数の操作を行うこともできます。また、ウェーハの位置合わせや登録を監視する品質管理ユニットを搭載し、自動生産時にウェーハ間の露出箇所を自動的に管理します。安全性の面では、NSR-1505G6Eウェーハステッパーには安全シャッターが装備されており、異常動作時のステッパーの損傷を防ぎます。また、ヒューマンインターフェース回路ブレーカも備えており、電気過負荷の場合に電力を削減します。これは、光学機器を過剰な放射線被ばくのリスクから保護する自動保護機械によって補完されます。全体として、NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepperは信頼性の高い高性能なリソグラフィーツールで、さまざまな高度な機能と安全保護を備えており、半導体加工に最適です。