中古 NIKON NSR 1505 G6E #9206224 を販売中

ニコンNSR 1505 G6Eは、要求の厳しいリソグラフィ用途において、信頼性の高い生産性と高性能アライメントを提供するように設計された高精度ウェーハステッパーです。6インチウェーハスキャン機能により、比類のない精度とスループットを実現したNIKON NSR-1505G6E。ステッパーの革新的なデュアルパワー高電圧増幅装置は、高度なGFS （Gunning Focussing System）と連携して、幅広い特殊レンズとの優れたイメージング整合性を実現します。NSR 1505 G6Eには統合された同期イメージングユニットがあり、サブミクロンレベルまでのフィーチャーの正確なアライメントが可能です。このマシンは、余分なレンズを必要とせずに、レイアウトとゲートパターンのすべての必要なパラメータを同時に正確にスキャンしてイメージすることができます。これにより、プロセスの効率と精度が大幅に向上し、全体的な設計プロセスが簡素化されます。ステッパーは、特許取得済みのCNAドライブツールに基づいており、ウェーハ全体を高速かつ正確にアライメントします。アセットはユーザーフレンドリーに設計されており、プロセス監視を改善できます。NSR-1505G6Eはまた、ダークフィールド計測、in-situレンズコーティング、オンライン補正機能など、プロセスカスタマイズのための幅広いオプションを提供し、柔軟性を向上させています。NIKON NSR 1505 G6Eは、高度なClean Scan機能によりパフォーマンスを向上させます。このモデルは、ウェーハを異なる時間にスキャンし、スキャン中にウェーハに接触することができる不正な粉塵粒子をフィルタリングするため、ウェーハの汚染を軽減するように設計されています。これにより、アライメント処理中に粉塵粒子がウェーハに侵入するリスクが大幅に低減されます。NIKON NSR-1505G6Eは、詳細なプロセス履歴を記録する高度な品質モニターも提供しています。これにより、複数の実行中に詳細な品質パフォーマンス情報を監視できます。これは、ステッパーのダイツダイ最適化機能に加えて、一連のウエハ上でリソグラフィープロセスの性能と精度を向上させるために使用することができます。NSR 1505 G6Eは、高度で高効率なウェーハステッパーで、要求の厳しいリソグラフィ用途において高精度とスループットを提供するように設計されています。その機能とオプションの範囲は、非常に洗練されたプロセスに適していますが、高性能のアライメント機能と同期イメージング装置は、あらゆるアプリケーションにとって信頼性が高く正確な選択肢です。