中古 NIKON NSR 1505 G6E #9204502 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eウェーハステッパーは、ウェーハに高精度なインプレッションを作成するために使用される次世代のリソグラフィーツールです。半導体ウェーハ上でサブミクロン構造を迅速かつ信頼性の高い製造手段を提供するように設計されています。この装置は、高度なスキャン、アライメント、およびイメージングシステムを使用して、高い再現性と精度を維持しながら、1時間あたり最大150ウェーハの処理速度を提供します。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepperには、9インチのリソグラフィーユニットが搭載されています。最小ピッチ0。07ミクロンの解像度で最大8。5ミクロンの画像を印刷できる150mmのリアフェッドレンズを採用しています。このツールには、超高解像度の画像トンネル、140-GHzラスタースキャンアセット、およびウェーハ上のリソグラフィープリントの正確な位置決めと配置を保証する自動アライメントモデルも装備されています。さらに、MEMS、フォトニック結晶、その他の特殊構造などの非長方形オブジェクト上に正確に形状を作成するようにプログラムすることができます。最適な製造を容易にするために、システムは、ユーザーが特定のアプリケーションに必要な正確な画像や形状を製造することを可能にするリソグラフィックマスクの品揃えで構成されています。さらに、ユーザーがカスタマイズされた解像度、ピッチ、およびコントラストのためにリソグラフィー印刷をプログラムおよび制御することを可能にする高度な制御機械が装備されています。安全性を高めるために、装置の寿命を最大化するために、このツールはエアシールされた、ほこりのない環境に収容されています。さらに、フィルター交換やレンズクリーニングなどのメンテナンス要件をユーザーに通知する自己診断モデルも装備されています。NSR 1505 G6Eウェーハステッパーは、多様な用途に対応できる高精度で信頼性の高いリソグラフィ装置です。高解像度イメージング、高度な制御およびアライメントシステム、および多数のリソグラフィックマスクの組み合わせにより、この装置はあらゆる用途に迅速で信頼性の高い正確なリソグラフィープリントを製造することができます。