中古 NIKON NSR 1505 G6E #9195756 を販売中

ニコンNSR 1505 G6Eウェーハステッパーは、業界をリードする性能と高度なプロセス制御機能を備えた高度なリソグラフィ装置です。このシステムは、125nmの最小線幅能力と優れた焦点深度で全体的に優れたリソグラフィー体験を提供し、複雑な基板のニーズを満たすように設計されています。このユニットは、さまざまなサイズの粒子が露出プロセスに干渉しないように、超高アスペクト比や大面積の基板を含む幅広いフレキシブル基板で動作するように設計されています。このマシンは、画像の歪みとフィールド平坦性を改善するために2つの統合されたフィールドレンズを備えており、効果的に画質と解像度の精度を向上させます。このツールは、高精度で再現性に優れた高度なオートフォーカス機構を使用して、優れたオーバーレイ機能を提供します。高度なパターンマッチング技術は、正確なデータ取得を保証し、均一性とパターン配置精度を提供します。さらに、アセットには、ミスアライメントを低減し、露出時の基板ホルダーの設定精度を向上させる強化されたバックプレート位置決めモデルもあります。この機器には、直感的でユーザーフレンドリーな自動ジョブエディタが装備されており、一貫したユーザーパフォーマンスと再現性を確保するように設計されています。さらに、このプラットフォームには統合された光学HDXスキャナも搭載されており、正確なレチクル特性評価が可能です。さらに、高度なOPC機能も備えており、フォトマスクやパターンの高精度を実現しています。このユニットは、サイクリング時間を短縮するように設計された高度なウエハハンドリング技術により、スループットを向上させます。このマシンの高スループットと優れた分解能機能を組み合わせることで、迅速なスループットと高スループットの均一性を実現し、優れたリソグラフィ結果を保証します。NIKON NSR-1505G6Eは、ハイエンドの信頼性とプロセス安定性のために設計されています。このツールのモジュール式および電力効率に優れた設計により、運用中の超低メンテナンス要件が保証されます。さらに、このアセットは包括的なデータ取得機能を提供し、幅広いアプリケーションに適しています。NIKONはグローバルサポートを提供しており、ユーザーはモデルを生産プロセスにシームレスに統合することができます。