中古 NIKON NSR 1505 G6E #9160454 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、製造メーカーのコスト削減と生産全体の改善を支援するために設計された、高性能の半自動ウェーハステッパーです。この装置は、信頼性が高く、費用対効果が高く、ユーザーフレンドリーな設計を備えているため、半導体産業における大幅なコスト削減と歩留まりの最適化を可能にします。このシステムは、ウェーハ処理機能を管理するメインユニットとパワーモジュールで構成されています。本体には、回転チャック、ファインポジショニング（Z軸）タイプステージ、光学モジュール、ステッピングヘッドなど、合計5軸を装備しています。光学モジュールは水銀ランプとミラーズームユニット（MZU）を備えており、高精度なイメージングと検査が可能です。ステッパーは、フォトリソグラフィ、電子ビームリソグラフィ、グラビアエッチング、レーザーエッチング、ドライエッチング、イオンエッチングなど、幅広いウエハ加工機能を実現します。NIKON NSR-1505G6Eユニットは、高速かつ高精度な加工が可能で、低所有コストを兼ね備えています。このマシンには高度な制御ソフトウェアが装備されており、ウェーハ処理アプリケーションの面で使いやすさと汎用性を提供します。さらに、NIKONの有名なScanning ProberおよびWafer Metrology Technologyプラットフォーム（SP 200およびNMX）との統合により、自動ウェハマップ作成が可能です。NSR 1505 G6Eは、10µmの最小スポットサイズと高い許容精度で優れたフォトリソグラフィ結果を達成し、最適な歩留まり最適化を保証0.5µmます。アセットはまた、最適化されたチャックベースとウェーハハンドリング機能を提供し、迅速なアライメントとレチクル交換を可能にします。また、高精度な温度制御を実現し、生産歩留まりと安定性を最適化するデュアル機能「コールドプレートとウェーハ温度制御」を搭載しています。また、便利な拡張性のために設計されており、費用対効果の高いソリューションで簡単にライン生産を拡大することができます。NIKON NSR 1505 G6は、お客様の特定のニーズに合わせて変更することができるさまざまな部品とコンポーネントを備えた、いくつかの構成で提供されています。全体として、NSR-1505G6Eは直感的で汎用性が高く信頼性の高いシステムであり、低コストで高精度のウェーハ処理を可能にします。堅牢な性能と機能を備えたこのユニットは、コストの削減と生産成果の向上を求めるメーカーに適しています。