中古 NIKON NSR 1505 G6E #293817955 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、半導体製造プロセスのリソグラフィに使用される先進的なウェハステッパーです。大口径半導体基板にチップパターンを高密度露出させることができるステップアンドスキャンププロジェクションアライナーです。この装置は、最大200mmの直径のウェーハを正確にイメージするように設計されており、ウェーハを2つのパターン化されたウェーハに分割するために使用されるデュアルウェーハプロセスに対応できます。G6Eはマルチスキャンステップとリピートシステムで、より高速な処理時間と高速化を実現します。精度0。35の数値開口、高解像度スキャナ、強力なステージ位置決めツール、高度な画像補正技術を備えた最先端の光学機器を搭載しています。この機能の組み合わせにより、最大10マイクロメートルの深さで1。5mm未満のピッチの優れたオーバーレイと配置精度を提供できます。また、露光パルスアプリケーションを高速化する高速サーボモータや、露光時のウエハハンドリングを正確に行う頑丈な駆動装置を搭載しています。また、高効率の冷却機構と、信頼性の高い露出のための高度なシャッターユニットを備えています。NIKON NSR-1505G6Eは、信頼性と効率的な操作のために設計された堅牢なマシンです。このツールは、メインCPUとウェーハ処理CPUからなるデュアルCPUアセットを使用します。メインCPUはモデルを制御し、ウェーハ処理CPUは露出処理とウェーハ処理を処理します。この構造は、2つのCPU間のより良い通信により、高いスループットと高い精度を提供します。NSR 1505 G6Eは、ユーザーフレンドリーなソフトウェアで設計されており、さまざまな処理条件に対応するさまざまなオプションを提供します。マルチエクスポージャー機能を搭載し、同じウェハ上で複数のエクスポージャーを処理できます。この機能により、処理時間が短縮され、全体的なスループットと精度が向上します。NSR-1505G6Eは、最先端のリソグラフィープロセスの要求を満たすように設計された高度なウェーハステッパーです。最先端の光学システム、高度なウェーハ加工技術、ユーザーフレンドリーなソフトウェアを搭載しています。これらの機能と堅牢な設計により、高品質な露光結果を一貫して提供できます。