中古 NIKON NSR 1505 G6E #293717119 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、マスクレスリソグラフィ作業におけるフォトリソグラフィックパターンに使用される高精度の5軸ウェハステッパーです。x、 y、 z、 θ、回転軸コントロールを備えており、重要なウェハレベルのデバイス操作に優れたステップと繰り返し精度を提供します。また、高解像度パターニングを必要とする用途向けに、周辺領域を含むイメージング分野全体で高い均一性を実現する独自のミラースキャンシステムを備えています。内部的には、システムは光学、イメージング、モーションコントロール、およびPCを組み合わせたオールインワンアーキテクチャで構築されており、個別の制御コンポーネントを追加する必要はありません。これにより、必要なスペースを削減し、アライメントを簡素化し、セットアップ時間を短縮します。NIKON NSR-1505G6Eはまた、自動補正機能によりウェーハ上の散乱マイクロドットを認識できる超高分解能と優れた再現性を誇っています。これにより、イメージング品質が向上し、特にウェーハフィールド全体の均一性を識別するため、ファインラインパターニングやその他の小型化された機能に最適です。NSR 1505 G6Eは完全に自動化されており、オペレータが設定やプログラムエラー検出ルーチンをカスタマイズできる完全にオペレータ設定可能なPCベースのオペレーティングソフトウェアを備えています。すべてのCADプログラムと互換性があり、自動制御およびステップアンドリピート機能でシームレスに動作できます。さらに、システムは正確なパターン化を確実にし、ヒューマンエラーを最小限に抑えるために、すべてのデータをログに記録します。NSR-1505G6Eに組み込まれた高度なアルゴリズムと拡張制御設定により、露出とアライメントを最大限に制御できます。それに画像のゆがみを防ぐために露出設定の調節を可能にする大きい、プログラム可能な照明および自動露出制御機能があります。ニコンNSR 1505 G6Eは信頼性が高く、精度と高速性を保証します。完全に統合された光学機能、イメージング機能、動作機能を備えたパワフルでありながらシンプルなため、大規模なウェーハレイアウトや小型デバイス製造に適しています。