中古 NIKON NSR 1505 G6E #293665027 を販売中

ニコンNSR 1505 G6Eは、現在市場で入手可能な最も先進的で信頼性の高いステッパーの1つです。NIKON NSR-1505G6Eは、半導体・フラットパネルディスプレイ業界におけるリソグラフィ、検査、プロセス制御用の多目的イメージング機器です。高解像度ステッパーは、4インチおよび5インチのシングル/ダブルサイドフィールドイメージングをサポートしており、フルウェハおよびシングルチップレベルの検査が可能です。NSR 1505 G6Eは、高精度と高速の両方の要件から高性能を達成するのに役立つ長い機能のリストを持つハイエンドマシンです。5インチフラットフィールド高出力（NA）プロジェクションレンズ、電動XYステージ、ダイオードレーザー源、高解像度カメラ、光学補正1-5倍光学ズームシステムを搭載し、270mmの投影ワーク空間を提供します。NSRステッパーは、高速ズームユニット（毎秒最大20フレーム）とスキャン機を搭載し、オペレータが利用可能な最高精度で高解像度の画像を迅速に取得できるため、最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。NSR-1505G6Eはまた、ウェーハのロードとアンロードを高速化する高度に自動化されたプラットフォームを備えています。これには、ウェーハをカメラの視野に合わせるための自動ツールが含まれており、手動で整列する必要はありません。NIKON NSR 1505 G6Eには、画像取得、解析、処理の高速化を実現する画像処理ユニットも搭載しています。これにより、オペレータの作業負荷が大幅に削減され、生産性が向上します。NIKON NSR-1505G6Eステッパーは、現在入手可能な最先端のアライメント技術を提供しています。この自動化された機能は、ウェーハに対して最適なアライメントパターンを自動的に決定し、パターンを使用して各光学フィールド位置を調整することで、最高のアライメント精度を保証します。NSR 1505 G6Eでは、ニコンの特許取得済みのGlobal Alignmentアセットも使用しています。これにより、ウェーハ全体のずれを自動的に検出し、それに応じて動作することができます。最後に、NSR-1505G6Eは、ユーザーが特定の要件を満たすようにモデルを構成することを可能にするさまざまなオプションを含む高度なプロセス制御の範囲を提供します。イメージング中のアライメントを維持しながら、フィールド全体のフォーカス位置を最適化するためのオートフォーカス機器が含まれており、プロセスを追跡するための高度なデータ分析およびレポートツールが含まれています。これらの特徴はすべて、NIKON NSR 1505 G6Eの優れた性能と信頼性を幅広い用途で実証しています。