中古 NIKON NSR 1505 G6E #293602162 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Eは、ナノメートルレベルでの精密なリソグラフィ処理を可能にするように設計された先進的なウェハステッパーです。このツールは、最先端の技術を利用して、シリコンウェーハの正確で高効率なパターンイメージングを可能にします。この装置は、高性能のイメージングステージと2つの独立した制御可能なリソグラフィーステージを備えており、高解像度のイメージングを実現するために、正確で多重露光アラインメントを可能にします。また、高精度なフォーカス検出ユニットを採用し、正確な画像フォーカスを実現しています。NIKON NSR-1505G6Eは、最大6,000mm/sのスキャンに対応する高速スキャン機と、1。7nmの位置精度を実現する高精度測位ツールを搭載しています。このツールは、エレベーターのビームスキャン機能を提供することもでき、単一の露出ステップでマルチパターン露出を可能にします。この機能はユニークな「オーバーラップ」アルゴリズムと組み合わされており、パターン露出が15パターン以上のデザインを正常にカバーすることができます。NSR 1505 G6Eは、ユーザーフレンドリーで柔軟性に優れているように設計されています。このツールには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーの制御を容易にし、リソグラフィーレシピとプログラムセットの変更を可能にします。さらに、このステッパーは、深紫外線（DUV）、 KrF、 iライン、および事前定義された露光パターンなど、多くの一般的なリソグラフィ露光方法と互換性があるように設計されています。また、露出時にウェーハを保護するための多層ウェーハホルダーを含むメンテナンスフリーの操作も備えています。全体として、NSR-1505G6Eは強力で高度なウェーハステッパーであり、ナノメーターからミクロンスケールまで精密なリソグラフィ機能を提供します。高速スキャンアセットと位置決め精度により、チップやその他の電子機器の製造に不可欠な効率的かつ正確なリソグラフィーイメージングを可能にします。このモデルのメンテナンスフリーな操作とユーザーフレンドリーなインターフェースは、リソグラフィのニーズに合わせて信頼性の高い汎用性の高いウェーハステッパーを探している組織や個人にとって便利なツールです。