中古 NIKON NSR 1505 G6E #293592863 を販売中

ニコンNIKON NSR 1505 G6Eは、半導体リソグラフィに使用される最新の高性能レーザースキャンステッパーです。NIKON NSR-1505G6Eは、高性能スキャナと高度な共焦点光学によって駆動され、超微細な電子部品を製造するための正確で迅速な露出を保証します。NSR 1505 G6Eは、露光時のp-V歪みを低減しながら、高精度な画像処理を可能にする最先端のレーザースキャナを採用しています。デュアルコラムの六角形の構造は優れた安定性と正確なモーションコントロールを提供し、独立したモーションステージは画像寸法をさらに制御します。このスキャナは、0。45nmの優れた横解像度、光強度、および画像の均一性を提供する最新の光学設計を利用しています。スキャナの光学プロファイルは非常に均一で、視野全体にわたって低歪みの画像を提供します。NSR-1505G6Eは、高い光量を誇る強力な照明装置を備えています。これにより、ウェーハステッパーは最適な露光時間と最大ウェーハスループットを達成することができ、生産実行に最適です。コンピュータ制御システムは、正確な画像処理と露出制御を容易にします。NIKON NSR 1505 G6Eは、波長パターン、スリット幅、フォーカス制御、レーザーパワー、パルス持続時間、パルス形状など、幅広いプログラマブルパラメータを備えています。これらの設定は、各アプリケーションの要件に応じてカスタマイズできます。NIKON NSR-1505G6Eは、直径200mmまでの基板を取り扱うことができ、高速で大面積の露出が可能です。また、MEBESレジストおよびLPCVDプロセスの使用もサポートしているため、複数のアプリケーションや状況で使用できます。NSR 1505 G6Eには、高度な診断ユニットも含まれています。自動診断機はツールのパフォーマンスを監視しますが、リモート診断機能により、技術者は問題を正確に診断してリモートで修復できます。全体として、NSR-1505G6Eは比類のない精度とパフォーマンスを提供する強力で高度なウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、高品質の光学、スキャナー、照明資産、プログラマブルパラメータを備えており、半導体リソグラフィに最適であり、今後も業界に貢献していきます。