中古 NIKON NSR 1505 G6D #9269452 を販売中

NIKON NSR 1505 G6D
ID: 9269452
Step lithography machine.
ニコンNSR 1505 G6Dは、フォトリソグラフィープロセスの高度な制御と検査のための最先端のウェーハステッパーです。ICの開発と製造に伴う時間とコストを削減するために特別に設計されています。ステッパーは高精度で高解像度の5軸モーションコントロール装置を備えており、0。01 µm分解能を提供し、直径150 mmまでのウェハに対応できます。また、各ウェハのトポロジに合わせて光学系の焦点を自動的に調整するオートフォーカスシステムと、オンボード障害およびエラー検出ユニットも内蔵しています。NSR 1505 G6Dは、広範囲の被写界深度(EDF)イメージングを提供することができ、ウェーハの高さの間で手動で焦点をシフトする時間が大幅に短縮されます。標準解像度とHR (High-Resolution)イメージングの両方を、最先端のイメージング技術を使用して実行します。さらに、現場でのエッジ配置機により、エッジ配置の迅速な補正が可能になり、高いレベルのアライメント精度と精度が得られます。NIKON NSR 1505 G6Dには、ウェハマッピング、自動アライメント、欠陥検査を可能にする豊富なソフトウェアが付属しています。また、マスク解析、薄膜測定ツール、フォトマスクアライメント、自動欠陥検査など、幅広い測定技術とソフトウェアとの統合が可能です。NSR 1505 G6Dは、現在急速に進化している半導体製造業に適した堅牢で柔軟なツールとして設計されています。高度に自動化された設計により、ウェーハの連続的な高精度処理を実現し、ダウンタイムを最小限に抑えます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと幅広いソフトウェアソリューションにより、使いやすく生産性を向上させます。ニコンNSR 1505 G6Dは、高度で費用対効果の高いリソグラフィープロセスに最適なウェーハステッパーです。
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