中古 NIKON NSR 1505 G6D #9269101 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Dは最先端のウェーハステッパーであり、要求の厳しい半導体産業のための精密フォトリソグラフィーソリューションを提供します。これにより、ウェハの開発能力を向上させ、高精度かつ再現性のある高度な半導体デバイスパターンを実現します。高度な光学、モータ化、精密ロボットユニット、露光制御システム、画像解析システムを組み合わせて、高品質のウェーハを作成します。NSR 1505 G6Dは、優れた生産速度と高い精度とコスト削減を実現するように設計されています。システムは200mm x 200mmの最大露出面積を持ち、30µm分解能を備えています。それは正確なパターン複製と正確さを確保するためにプログラム可能な露出プロファイルが付属しています。これは、5000mJ/cm2の最大露光量でシャープに焦点を当てた画像を提供します。また、より高い露光源、歩留まり、およびスループットを提供し、短いサイクル時間と信頼性の高い生産を可能にします。また、NIKON NSR 1505 G6Dは、高度な画像解析とパターン認識をサポートしており、露光プロセスにおける誤りのパターン調整と補正を自動化します。スプライシングとウェーハ開発のための自動露出制御システムと、オーバーレイ評価や最適露出時間のユーザー調整などの追加機能を備えています。また、露出パラメータを簡単にプログラミングできるように、最先端のレシピインターフェイスも備えています。このシステムは、メンテナンスとダウンタイムを最小限に抑えるように設計されており、最適なパフォーマンスを保証するために、定期的な予防メンテナンスとプロフェッショナルなキャリブレーションのみを必要とします。NSR 1505 G6Dは、200mmから300mmまでの幅広いウエハサイズに対応できるため、大規模なフォトリソグラフィープロジェクトでの使用に適しています。高度な機能により、特定のアプリケーションに対応できるようにカスタマイズでき、最高水準のコスト効率とスループットを実現します。