中古 NIKON NSR 1505 G6D #9068865 を販売中
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NIKON NSR 1505 G6Dは、最先端の半導体製造プロセスにおける最先端のリソグラフィ要件に対応したウェハステッパーです。ニコンNSRシリーズの中でも最高レベルの精度と性能を誇るステッパーです。NSR 1505 G6Dは、大容量のコールドフィールドダイアフラム(CFD)光学を備えており、ダイレクトイメージング、オーバーレイ登録、デバイス機能のアライメントなどの要求の厳しいアプリケーションに、高解像度と画質を提供します。この光学機器は、正確かつ正確なウェーハ配置のための特許取得済みのモーションコントロールシステムと組み合わされています。この生産レベルのウェーハステッパーは柔軟なソフトウェアアーキテクチャで設計されており、ユーザーはさまざまな光学設計、オーバーレイ補償、自動露出、オートステッチ、オートフォーカス制御を利用できます。NIKON NSR 1505 G6Dは、さまざまな波長選択設定を備えたエキシマレーザーを使用するなど、ハイエンド光源技術を特長とするように設計されています。これにより、パルス持続時間とビーム強度をユーザーのアプリケーションに最適に調整できます。ステッパーはまた、可能な限り最高のスループットを得るために高度なモーションコントロールとウェーハハンドリングシステムで設計されています。NSR 1505 G6Dは、その先進的な機能とは別に、信頼性の高い性能で知られています。これは、均一な冷却を提供し、温度の効率的な管理とメンテナンスを保証するマルチゾーン冷却ユニットが装備されています。この冷却機械は塵の避難のための用具の出口によって支えられます。NIKON NSRシリーズのステッパーは、高精度と加工速度で有名であり、NIKON NSR 1505 G6Dも例外ではありません。高安定化された電源と精密モータ駆動システムを搭載し、精密で安定した画像処理を実現しています。クリーンルーム対応のステッパーには、一括監視資産、ジョブスケジューリング、登録、ターゲット補償、トラックとトレース、ガラスカセットなどのユーティリティもあります。NSR 1505 G6Dは、全体的に、高解像度、画質、高速処理速度を提供する高度なウェーハステッパーです。幅広い機能と信頼性の高い性能により、半導体デバイスの製造やその他の複雑なリソグラフィ要件に適しています。
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