中古 NIKON NSR 1505 G6D #293817958 を販売中

NIKON NSR 1505 G6D
ID: 293817958
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.45 Resolution: 750 nm DCO:  140 Throughput (WPH): 58.
ニコンNSR 1505 G6Dウェーハステッパーは、集積回路の開発に使用するために設計された高精度リソグラフィーツールです。このウェーハステッパーは、ニコンNSR-G6リソグラフィープラットフォームに基づいて構築されており、チップ生産のためのコスト効率の高い性能を提供します。これは、低解像度のオーバーレイエラーと正確なアライメントとともに、0.285µmの最大解像度を提供します。NSR 1505 G6Dは、石英、シリコン、ガリウムなどの各種基板の取り扱いが可能であり、ウェハ上でのチップ生産も2インチ程度で可能です。ウェーハステッパーには、デュアルステージのオートフォーカス装置と組み込みのアライメントシステムが装備されています。これにより、比類のない精度でウェーハのアライメントが可能になり、高精度のエッチングパターンが得られます。このマシンは、NIKONの環境に優しいG6制御ソフトウェアによって駆動され、ユーザーの介入を最小限に抑えたフルオート操作を提供します。ユーザーインターフェイスは使いやすく、リソグラフィープロセスを便利に制御できます。さらに、NIKON NSR 1505 G6Dは、低ノイズ動作と選択可能な露光モードを提供します。リソグラフィープロセスを最適化するために、ウェーハステッパーにはいくつかのオプション機能が装備されています。これらには、露出領域のサイズと形状を測定できるオンボード測定ユニットが含まれます。また、自動ローディングマシンのオプションも提供しており、ユーザーはウェーハをすばやく簡単に入力することができます。また、高速スキャンと露光処理により、1時間あたり約40本のウェーハ処理が可能です。NSR 1505 G6D Wafer Stepperは、集積回路の生産に費用対効果の高いパフォーマンスをユーザーに提供するように設計されています。この最先端のリソグラフィーツールは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと選択可能な露出モードで使いやすいです。優れた解像度とアライメント機能により、高精度チップ生産に最適です。
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