中古 NIKON NSR 1505 G6D #293665025 を販売中

NIKON NSR 1505 G6Dウェーハステッパーは、集積回路、液晶ディスプレイ、磁気メモリ製品、その他のマイクロマイナチュアデバイスの製造に使用される精密イメージングツールです。NSR 1505は、優れた精度と精度を提供しながら、プロセス時間とエネルギーコストを削減します。NSR 1505 G6Dには高度な1Xフォトオプティクスが搭載されており、15〜188nmの波長で広範囲の露光波長+紫外線（UV）および深紫外線（DUV）を開きます。この広い波長範囲により、高解像度フォトリソグラフィ、デバイス・プロービング、材料研究、高速パターニング、3D画像処理など、さまざまな用途に対応できます。NSR 1505は標準のマスクアライナーにも対応しており、高度なアプリケーションを柔軟に実行できます。NSR 1505は、最大ピクセル解像度が3。2 30kHz m、最小フィーチャサイズが0。25 μ mで、最大μの高速スキャンレートを備えています。また、毎回正確な再現可能な位置決めのための6軸パラレルドライブアライメントも備えています。精密6軸駆動装置およびサーボフィードバックシステムは、高速、低ノイズの放射状、水平、垂直のスキャン操作を保証し、ASR安定性モニタリングユニットは一貫した精度を保証します。さらに、OCR-DF構造、Spectra-Beam 2光源、Extra-Wide NA光システムなどの機能を利用して、プロセス時間を最大40％短縮します。NSR 1505には、Windows XPオペレーティングツールが組み込まれており、同時撮影、フォトリソグラフィ、ダイレベル検査などの高度な機能を備えたオプションのN-vestiソフトウェアを備えています。これにより、アセットはより迅速に動作するため、生産サイクルが短縮されます。さらに、NSR 1505のフォトマスクアライメント機能により、ウェーハ上に形成されたパターンを評価する際の精度と再現性が保証されます。ウェーハ形状誤差検出機能により、露光のサイクルタイムとモデリングコストを削減し、光学的精度と再現性を向上させます。最後に、一体型コントローラ、人間工学に基づいたオペレータステーション、完全自動化された操作など、さまざまな機能を備えたNIKON NSR 1505 G6D、多くの最先端のアプリケーションに最適です。