中古 NIKON NSR 1505 G6 #9358981 を販売中

NIKON NSR 1505 G6は、ハイテク産業向けの高度なマイクロスケール部品を製造するために設計された高精度ウェーハステッパーです。このツールは、高精度と再現性の優れたレベルを提供し、非常に厳しい公差と高収率を生成します。低線の歪みと画像性能を持つ高度な光学技術を活用し、最高の画質と性能を提供します。NSR 1505 G6には、最新のマイクロスケール機能の微細なパターンを効率的にキャプチャするための高出力150mmレンズが搭載されています。これは、ラインの歪みを最小限に抑えるための圧縮低減装置だけでなく、最適化された照明と露光時間の設定を備えています。システムの高度な画像処理ユニットには、最適化されたアライメントマシン、および反復可能な結果を確保するための自動オフセット補正が含まれています。NIKON NSR 1505 G6は、高性能レチクルツールを搭載し、マニュアルシステムでは得られない高い角度残差でピークライン配置精度を実現します。このアセットは、38インチまでの超長型マスクサイズ機能を含む、多種多様なマスク素材と機能サイズに対応する柔軟性を備えています。高精度なX/Y前処理段階を採用し、確実な精度と再現性を実現しています。NSR 1505 G6には、最先端の寸法測定モデルも用意されており、CDの均一性の検査と歩留まりを支援します。オールインワン機器の最高倍率を最大200倍に抑え、精度ミクロン以内のチップ測定が可能です。また、高速かつ効果的なオートフォーカスシステムを内蔵しており、集中的な手動調整を必要とせず、ウェーハ上の任意の場所でシャープな画像をキャプチャできます。高度な制御ユニットは、デバイスのセンターコンソールであり、露出、光変調、レチクル回転およびアライメントなどの操作を完全に制御できます。NIKON NSR 1505 G6のモジュラー設計は、さまざまなユーザーの要件に応じて簡単にカスタマイズできますが、内蔵の校正機とモニターにより、マシンはすぐに箱から飛び出す準備ができています。NSR 1505 G6は、精密かつ効率的なマイクロスケール生産に最適なツールです。