中古 NIKON NSR 1505 G6 #9236645 を販売中

NIKON NSR 1505 G6ウェハステッパーは、半導体製造のフォトリソグラフィープロセスに使用されるデバイスです。半導体回路を一体化したシリコンウエハへの光学パターン転送が可能です。NSR 1505 G6は、6インチウェーハサイズでスループットを最大化する大型プロジェクションレンズで優れた性能を発揮します。サブミクロンのアプリケーション向けに設計されており、デバイスの精度と信頼性を向上させるいくつかの機能を備えています。NIKON NSR 1505 G6の光学機器は、投影レンズの画像平面平坦性の向上、より微細なアライメント精度、およびより大きな開きを備えています。これにより、正確なパターン継続性と登録安定性が保証されます。このデバイスは、PALONE-Eコントローラと呼ばれるリアルタイム露出制御システムと統合されており、優れた露出精度とシフト性能を提供します。コントローラは、自動露出制御、デジタルイメージシフト、および正確な露出とアライメントを可能にするオートフォーカスなどの多くの機能と統合されています。NSR 1505 G6には、高精度のXYステージスキャンおよびオーバーレイ制御システムも装備されています。ステッチビューアを拡大して設計されており、オーバーレイ性能とウェーハ検査を向上させます。また、高速サブビームアライメントオプションを改良し、アライメント速度を向上させました。このデバイスは、高精度のイメージング用に設計されており、最大30,000ピクセルの解像度を持つ8ビットデータを利用しています。このデバイスはまた、4インチのリチクルアライメント精度と5 um画像平面平坦性を備えています。NIKON NSR 1505 G6は、新しい写真消防ユニットと高効率の光学フィルター機を内蔵しています。短くて長い光源露出を組み合わせることで、正確さとスループットを向上させます。フィルターアセットは、均一なウェーハ応答に最適なISO感度を維持するのに役立ちます。また、低い背景値を維持しながら、正確な露出制御を可能にします。NSR 1505 G6には、リソグラフィ工程中の環境条件を正確に監視する自動湿度およびパーティクルカウンターも備えています。また、必要に応じてタイムリーなキャリブレーションとメンテナンスモードを備えています。最後に、このデバイスは柔軟な自動洗浄モデルと統合されており、さまざまなプロセスウェーハサイズと成形に対応できるため、プロセスは非常に効率的です。全体として、NIKON NSR 1505 G6ウェーハステッパーは、精度、精度、スループットが向上した複雑なデバイスです。幅広い基板サイズと用途向けに設計されており、フォトリソグラフィープロセスにおいて信頼性が高く効率的な選択肢となっています。